Machine de pulvérisation plasma avec 3 sources de pulvérisation et boîte à gants

Modèle de produit

VGB-600-3HD

Paramètres principaux

(Spécification)

Partie de pulvérisation cathodique magnétronique à trois têtes :

1. Tension d'alimentation : 220 V 50 Hz

2. Puissance totale : 2,5 kW

3. Limite du degré de vide : E-6mbar (E-3mbar peut être atteint en utilisant l'équipement de pompe mécanique de notre société)

4. Température de chauffage : RT-500℃, précision ±1℃ (La température peut être augmentée en fonction des besoins réels.)

5. Nombre de cibles : 3 unités

6. Méthode de refroidissement du canon cible : refroidissement par eau

7. Dimensions du matériau cible : Ø2″, épaisseur 0,1-5 mm (épaisseurs variables selon les matériaux cibles)

8. Alimentation pour la pulvérisation cathodique : 300 W (RF)/500 W (DC)

9. Platine porte-échantillon : Ø140 mm

10. Vitesse de l'étage d'échantillonnage : réglable de 1 à 20 tr/min

11. Gaz de travail : Ar, N₂et autres gaz inertes

12. Circuit d'admission d'air : Le débitmètre massique contrôle 2 circuits d'admission d'air, l'un de 100 SCCM et l'autre de 200 SCCM.

Pièce de boîte à gants :

1. Alimentation électrique : monophasée AC 110 V-220 V 50 Hz/60 Hz

2. Matériau de la coque : acier inoxydable 304

3. Dimensions de la boîte à gants : 1220 mm × 760 mm × 900 mm

4. Chambre avant : Il y a 2 chambres avant, la grande chambre avant mesure Ø360 mm × 600 mm et la petite chambre avant mesure Ø150 mm × 300 mm.

5. Environnement de la chambre : teneur en eau <1 ppm (20℃, 1 atm), teneur en oxygène <1 ppm (20℃, 1 atm)

6. Gaz de travail : N₂Ar, He et autres gaz inertes

7. Gaz de contrôle : air comprimé ou gaz inerte

8. Gaz réducteur : un mélange de gaz de travail et de H₂₂ (Si le système de purification a uniquement pour fonction d'éliminer l'eau, le gaz réducteur est le même que le gaz de travail.)

9. Système de purification des gaz :

Matériau désoxydant BASF (Allemagne), matériau absorbant d'eau haute performance UOP (États-Unis), contrôle automatique du processus de régénération du système de purification, fonctions automatiques d'élimination de l'eau et de l'oxygène, capable de maintenir en continu la pureté du gaz (taux d'eau < 1 ppm et d'oxygène < 1 ppm) sur le long terme

10. Système de contrôle de la pression : La pression d'air de la chambre peut être contrôlée automatiquement par un écran tactile PLC, la précision de contrôle est de ±1Pa, et elle peut également être contrôlée manuellement par un interrupteur au pied.

11. Système de filtration : Des filtres sont installés aux extrémités d'entrée et de sortie, et la précision de filtration est de 0,3 μm.

12. Système de contrôle : écran tactile couleur SIEMENS (6 pouces), automate programmable, interface bilingue chinois/anglais.

    * La sonde à eau est de marque américaine GE, avec un écran tactile de 0 à 1000 ppm et une précision de 0,1 ppm.

    * Le transmetteur d'oxygène est de marque américaine AII, avec un écran tactile de 0 à 1000 ppm et une précision de 0,1 ppm.

    * Le capteur de pression adopte la marque américaine Setra, avec un écran tactile de -2500 à 2500 Pa et une précision de ±1 Pa.

13. Pompe à vide : marque britannique EDWARDS, débit de pompage de 8,4 m³/h à 12 m.³/h

14. Gants : marque américaine NORTH (caoutchouc synthétique butyle)

15. Système d'éclairage : marque Philips (tube fluorescent)

Dimensions du produit

Partie pulvérisation cathodique magnétronique à trois têtes : 950 mm × 460 mm × 810 mm

Dimensions de la boîte à gants : 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm