Équipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique sous vide poussé
1. L'équipement de revêtement de laboratoire offre une présentation très efficace et améliore considérablement la précision du travail.
2. Nos équipements de revêtement de laboratoire sont développés indépendamment par nos soins, avec une maîtrise parfaite de la technologie.
3. Les équipements de revêtement de laboratoire sont largement utilisés et adaptés à différents types de films.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 22 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation des équipements de revêtement de laboratoire :
L'équipement de pulvérisation cathodique magnétronique VTC-800G est un petit appareil de pulvérisation cathodique magnétronique que nous avons développé. Cet équipement compact est largement utilisé pour la préparation de films monocouches ou multicouches ferroélectriques, conducteurs, en alliage, semi-conducteurs, céramiques, diélectriques, optiques, d'oxyde, durs et de polytétrafluoroéthylène.
Les petits équipements de revêtement peuvent être dotés d'un système de canon multi-cibles, qui prend en charge la pulvérisation cathodique RF des matériaux non conducteurs et la pulvérisation cathodique DC des matériaux conducteurs afin de répondre à diverses exigences de processus.
Comparé à des équipements similaires, le système de revêtement VTC-800G Small est compact, facile à utiliser et polyvalent. Il constitue un choix idéal pour la préparation en laboratoire de matériaux en couches minces fonctionnelles, et est particulièrement adapté à la recherche et au développement de nouveaux matériaux tels que les électrolytes solides et les OLED.
Principales caractéristiques des équipements de revêtement de précision :
1. Les petits équipements de revêtement peuvent être équipés de plusieurs canons cibles, prenant en charge les alimentations RF et CC, qui sont utilisés respectivement pour le revêtement par pulvérisation de matériaux cibles non conducteurs et conducteurs, et les canons cibles peuvent être remplacés de manière flexible selon les besoins ;
2. L'équipement de revêtement de précision est compatible avec la préparation de divers films fonctionnels et possède un large éventail d'applications ;
3. L'équipement de revêtement de précision est de petite taille, de structure compacte, facile à utiliser et adapté à divers environnements de laboratoire ;
4. L'équipement de revêtement de précision a une conception modulaire, et la chambre à vide, le groupe de pompes et le système de contrôle de puissance sont séparés et peuvent être combinés de manière flexible en fonction des besoins réels ;
5. L'équipement de revêtement de laboratoire prend en charge plusieurs méthodes de contrôle de l'alimentation : une seule alimentation contrôle plusieurs canons cibles ou plusieurs alimentations contrôlent indépendamment les canons cibles pour répondre à différentes exigences de processus.
Paramètres techniques des équipements de revêtement de précision :
| Nom du produit | VTC-800G équipement de revêtement par pulvérisation magnétronique | |
| Modèle de produit | VTC-800G | |
| Paramètres principaux | 1. Structure de la chambre : conception du couvercle supérieur cylindrique, système d'échappement arrière. 2. Aspiration ultime : 6,0 × 10-5Bien. 3. Taux de fuite de vide : ≤0,5 Pa en 1 heure. 4. Temps d'échappement : environ 30 minutes de l'atmosphère à 5,0×10-3Bien. 5. Configuration du groupe de pompes à vide : pompe mécanique + pompe moléculaire. 6. Paramètres de l'étape d'échantillonnage : · Taille : Ø205 Plage de température : température ambiante à 500 °C, précision ±1 °C · Vitesse de rotation : 5 à 20 tr/min (réglable). 7. Fonction de biais : optionnelle (utilisée pour améliorer la qualité du film). 8. Système de remplissage de gaz : débitmètre massique à double canal (argon/azote chacun) 9. Angle de la tête cible : l'angle entre la tête cible et l'axe central de la platine porte-échantillon est de 34°. 10. Nombre de têtes cibles : 2 en standard (peut être étendu à 4 en option). 11. Méthode de refroidissement du canon cible : refroidissement par eau 12. Spécifications du matériau cible : diamètre Ø3″, épaisseur 0,1 à 5 mm (selon le matériau cible) | |
13. Spécifications de l'équipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique : Dimensions hors tout : 700 mm × 1093 mm × 1380 mm |  | |
À propos de nous:
Notre entreprise est profondément ancrée dans le secteur de la production cinématographique depuis de nombreuses années et bénéficie d'une solide expérience. Nous disposons également d'une gamme variée d'équipements adaptés à différents matériaux afin de répondre à vos besoins spécifiques. Nous pouvons également vous aider à tester l'efficacité de nos équipements. Vous pouvez nous fournir des échantillons et nous préparerons des prototypes pour vous permettre d'apprécier plus concrètement le rendu de nos produits. Si nos produits vous conviennent, vous pourrez les acquérir et ainsi optimiser votre travail.
