Équipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron sous vide poussé
1. L'équipement de revêtement de laboratoire a une présentation à effet élevé et améliore considérablement la précision du travail.
2. L'équipement de revêtement de laboratoire est développé indépendamment par nos soins, avec un contrôle parfait de la technologie.
3. L'équipement de revêtement de laboratoire est largement utilisé et adapté à divers types de films.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 22 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation de l'équipement de revêtement de laboratoire :
Le VTC-800G est un petit équipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron développé par nos soins. Il est largement utilisé dans la préparation de films ferroélectriques monocouches ou multicouches, de films conducteurs, de films d'alliages, de films semi-conducteurs, de films céramiques, de films diélectriques, de films optiques, de films d'oxyde, de films durs et de films de polytétrafluoroéthylène.
Les petits équipements de revêtement peuvent être équipés d'un système de pistolet multi-cibles, qui prend en charge la pulvérisation de puissance RF de matériaux non conducteurs et la pulvérisation de puissance CC de matériaux conducteurs pour répondre à diverses exigences de processus.
Comparé à des équipements similaires, le petit équipement de revêtement VTC-800G est compact, facile à utiliser et flexible dans ses applications. Il constitue un choix idéal pour la préparation en laboratoire de matériaux fonctionnels en couches minces, particulièrement adapté à la recherche et au développement de nouveaux matériaux tels que les électrolytes solides et les OLED.
Principales caractéristiques de l'équipement de revêtement de précision :
1. Les petits équipements de revêtement peuvent être équipés de plusieurs pistolets cibles, prenant en charge les alimentations RF et CC, qui sont utilisés pour le revêtement par pulvérisation de matériaux cibles non conducteurs et conducteurs respectivement, et les pistolets cibles peuvent être remplacés de manière flexible selon les besoins ;
2. L'équipement de revêtement de précision est compatible avec la préparation de divers films fonctionnels et dispose d'une large gamme d'applications ;
3. L'équipement de revêtement de précision est de petite taille, de structure compacte, facile à utiliser et adapté à divers environnements de laboratoire ;
4. L'équipement de revêtement de précision a une conception modulaire, et la chambre à vide, le groupe de pompes et le système de contrôle de puissance sont séparés et peuvent être combinés de manière flexible en fonction des besoins réels ;
5. L'équipement de revêtement de laboratoire prend en charge plusieurs méthodes de contrôle de puissance : une seule alimentation contrôle plusieurs pistolets cibles ou plusieurs alimentations contrôlent indépendamment les pistolets cibles pour répondre aux différentes exigences de processus.
Paramètres techniques de l'équipement de revêtement de précision :
| Nom du produit | Équipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron | |
| Modèle de produit | VTC-800G | |
| Paramètres principaux | 1. Structure de la chambre : conception de couvercle supérieur cylindrique, système d'échappement arrière. 2. Vide limite : 6,0×10-5 Pa. 3. Taux de fuite de vide : ≤ 0,5 Pa en 1 heure. 4. Temps d'échappement : environ 30 minutes de l'atmosphère à 5,0×10-3 Pa. 5. Configuration du groupe de pompe à vide : pompe mécanique + pompe moléculaire. 6. Paramètres de l'étape d'échantillonnage : · Taille : Ø205 · Plage de température : température ambiante ~ 500℃, précision ±1℃ · Vitesse de rotation : 5~20 tr/min (réglable). 7. Fonction de polarisation : facultative (utilisée pour améliorer la qualité du film). 8. Système de remplissage de gaz : débitmètre massique à deux canaux (argon/azote chacun) 9. Angle de la tête cible : l'angle entre la tête cible et l'axe central de la platine porte-échantillon est de 34° 10. Nombre de têtes cibles : 2 en standard (peut être étendu à 4 en option). 11. Méthode de refroidissement du canon cible : refroidissement par eau 12. Spécifications du matériau cible : diamètre Ø3″, épaisseur 0,1~5 mm (selon le matériau cible) | |
13. Spécifications de l'équipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron : · Dimensions hors tout : 700 mm × 1 093 mm × 1 380 mm |  | |
À propos de nous:
Notre entreprise est profondément impliquée dans le secteur cinématographique depuis de nombreuses années et possède une solide expérience. Nous disposons également d'une variété d'équipements adaptés à différents matériaux pour répondre à vos besoins variés. Nous pouvons également vous aider à tester l'efficacité de nos équipements. Vous pouvez nous fournir des échantillons et nous les préparerons pour vous permettre de mieux comprendre l'efficacité de nos produits. Si vous êtes satisfait de nos produits, vous pourrez les acheter et travailler plus sereinement.
