Instrument de pulvérisation magnétron à trois cibles
1. L'équipement de revêtement à trois cibles a une haute précision, une faible erreur de résultat et une plus grande tranquillité d'esprit lors de l'utilisation.
2. L'équipement de revêtement à trois cibles est facile à utiliser et réduit le temps d'apprentissage.
3. L'équipement de revêtement à trois cibles convient à une variété de matériaux, réduisant ainsi la consommation de plusieurs équipements.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation de l'équipement de revêtement sous vide à trois cibles :
L'équipement de revêtement sous vide à trois cibles VTC-600-3HD-1000 est un équipement de revêtement sous vide poussé récemment développé par notre société. Il permet la préparation de films ferroélectriques monocouches ou multicouches, de films conducteurs, de films d'alliage, de films semi-conducteurs, de films céramiques, de films diélectriques, de films optiques, de films d'oxyde, de films durs, de films de polytétrafluoroéthylène, etc. Il est équipé de trois canons à cible et de trois alimentations : une alimentation RF pour le revêtement par pulvérisation cathodique des matériaux non conducteurs, une alimentation CC pour le revêtement par pulvérisation cathodique des matériaux conducteurs, et une cible magnétique puissante pour le revêtement par pulvérisation cathodique des matériaux ferromagnétiques. Comparé à des équipements similaires, l'équipement de revêtement sous vide à trois cibles présente les avantages d'une taille compacte et d'une grande facilité d'utilisation, et permet l'utilisation d'une large gamme de matériaux. C'est l'équipement idéal pour la préparation de films de matériaux variés en laboratoire.
Principales caractéristiques du revêtement par pulvérisation cathodique à triple cible sous vide élevé :
1. Le pulvérisateur à triple cible à vide élevé est équipé de trois pistolets cibles, deux alimentations RF correspondantes sont utilisées pour le revêtement par pulvérisation de matériaux cibles non conducteurs et une alimentation CC correspondante est utilisée pour le revêtement par pulvérisation de matériaux conducteurs.
2. Le revêtement par pulvérisation à triple cible sous vide élevé peut préparer une variété de films minces et est largement utilisé.
3. Le pulvérisateur à triple cible à vide élevé est de petite taille et facile à utiliser.
Paramètres techniques de l'équipement de revêtement à trois cibles :
| Nom du produit | Instrument de pulvérisation magnétron à double cible VTC-600-3HD-1000 |
Modèle de produit | VTC-600-3HD-1000 |
Paramètres principaux | 1. Puissance d'entrée : 220 V/50 Hz. 2. Nombre de cibles de pulvérisation : 3. 3. Diamètre intérieur de la chambre : Ø300mm. 4. Méthode de refroidissement du pistolet cible : refroidissement par eau. 5. Degré de vide ultime : 7,4E-5pa. 6. Spécifications de la chambre à vide : Φ300×330 mm. 7. Système de vide : pompe mécanique VRD-16, pompe turbomoléculaire FF-100/150. 8. Rétablir le vide : Le système est pompé de l'atmosphère à 5,0E-3pa≤30 min (le système est exposé à l'atmosphère pendant une courte période). 9. Système de gonflage : débitmètre massique à 2 voies (1 voie argon 100scc, 1 voie argon 200scc) Un gaz spécial peut être personnalisé. 10. Spécifications de la cible de pulvérisation : Φ2", épaisseur 0,1-5 mm (l'épaisseur varie en fonction des différents matériaux cibles). 11. Platine d'échantillon : Φ70 mm//chauffable (température ambiante ~ 1000℃). |
Spécifications du produit | Taille de l'hôte : largeur 900 mm × profondeur 650 mm × hauteur 1100 mm |
Garantie:
Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (hors pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates).
Logistique
À propos de nous:
Notre entreprise est profondément impliquée dans le secteur cinématographique depuis de nombreuses années et possède une solide expérience. Nous disposons également d'une variété d'équipements adaptés à différents matériaux pour répondre à vos besoins variés. Nous pouvons également vous aider à tester l'efficacité de nos équipements. Vous pouvez nous fournir des échantillons et nous les préparerons pour vous permettre de mieux comprendre l'efficacité de nos produits. Si vous êtes satisfait de nos produits, vous pourrez les acheter et travailler plus sereinement.
