Petite machine de pulvérisation plasma magnétron CC

1. Alimentation du petit appareil de pulvérisation cathodique magnétronique : 220 V CA 50/60 Hz

2. Puissance de la machine de pulvérisation cathodique magnétronique CC de laboratoire : <1000 W

3. Tension de sortie de la machine de pulvérisation cathodique magnétronique de laboratoire : 500 V CC

4. Courant de pulvérisation : 0-80 mA, réglable

5. Durée de pulvérisation : 0-120 s, réglable

1. Dimensions de la chambre en quartz : diamètre extérieur 166 mm × diamètre intérieur 150 mm×Hauteur 150 mm

2. Joint : Joint torique en caoutchouc fluoré

3. Un obturateur à commande manuelle est installé sur le couvercle de la bride pour la pré-pulvérisation de la cible. Un raccord à compression de 6,35 mm de diamètre sert d'orifice d'entrée d'air pour le raccordement du tuyau d'arrivée d'air. Une vanne de purge d'air manuelle permet de remplir la chambre en quartz d'air.

4. Une grille en acier inoxydable recouvre l'intégralité de la chambre en quartz pour protéger le plasma.

5. Le débit du gaz de travail dans la chambre est contrôlé en ajustant la vanne de contrôle de micro-précision située sur le côté droit du boîtier, ajustant ainsi le niveau de vide à l'intérieur de la chambre.

6. Le courant de pulvérisation est contrôlé en ajustant le potentiomètre situé sur le côté droit du boîtier.

1. Tête cible de pulvérisation cathodique magnétronique de 2 pouces sans refroidissement par eau. La température de fonctionnement maximale de la tête cible est de 80 °C. Au-delà de 80 °C, la tête cible perd son magnétisme et devient inutilisable.

2. Durée de pulvérisation : réglable de 1 à 120 secondes

3. Cible en cuivre standard incluse

4. Dimensions cibles requises : φ2" x épaisseur (0,5-5) mm

5. Convient pour la pulvérisation cathodique d'Au, Ag, Cu et autres métaux (disponibles à l'achat auprès de notre société).

1. Une platine porte-échantillon à hauteur réglable, avec une distance réglable entre la platine porte-échantillon et la cible de 25 à 70 mm.

2. Taille de l'étage d'échantillonnage : φ2"

3. Chauffage optionnel de l'étage d'échantillon, avec une température de chauffage maximale de 500 °C.

1. Plage de mesure : 1 × 10-4 mbar à 1000 mbar (1 × 10-4 à 750 torr)

2. Précision : 1000 mbar à 20 mbar (30 % de la lecture)

20 à 0,002 mbar (2 % de la lecture)

3. Répétabilité : 20 à 0,002 mbar (0,000 à 0,002 mbar) 2 %)

4. Humidité de fonctionnement : ≤80 % à 30 °C, ≤50 % à 40 °C, sans condensation ;

5. Température de fonctionnement : 5 °C à 60 °C

1. Un appareil de mesure d'épaisseur de film vibrant à quartz de précision est installé sur l'instrument, permettant une surveillance en temps réel de l'épaisseur du film avec une résolution de 0,10 Å.

2. L'écran LED permet à la fois l'affichage et la saisie des données d'épaisseur du film.

1. Modèle : VRD-8

2. Débit de pompage : 2,2 L/s

3. Puissance du moteur : 370 W

4. Pression ultime : 5 × 10^-1Pa (déchargé)

5. Pression réelle : ≤ 5 Pa (pompage mécanique pendant 20 minutes dans des conditions froides)

6. Pour des niveaux de vide plus élevés (10^-5des unités à vide poussé (tonnes ou plus), nationales ou importées, sont disponibles.

Dimensions : 500 mm × 350 mm × 550 mm (L × l × H)

Poids : Environ 20 kg (pompe à vide et système de refroidissement par eau exclus)

1. Plusieurs cycles de pulvérisation cathodique sont nécessaires pour obtenir l'épaisseur de film souhaitée.

2. Avant la pulvérisation, assurez-vous que la tête de pulvérisation, la cible, le substrat et le porte-échantillon sont propres.

3. Pour assurer une bonne adhérence entre le film et le substrat, nettoyez la surface du substrat avant la pulvérisation.

Garantie d'un an et assistance technique à vie.

Remarques particulières :

1. Les consommables tels que les éléments chauffants, les tubes de quartz et les creusets d'échantillons ne sont pas couverts par la garantie.

2. Les dommages causés par l'utilisation de gaz corrosifs et acides ne sont pas couverts par la garantie.

· La pression à l'intérieur de la chambre ne doit pas dépasser 0,02 MPa (pression relative).

En raison de la pression interne relativement élevée de la bouteille de gaz, un détendeur doit être installé lors de l'introduction du gaz dans le tube de quartz. Pour des raisons de sécurité, nous recommandons de ne pas dépasser une pression de 0,02 MPa. Pour une précision et une sécurité accrues, nous vous conseillons d'acquérir un détendeur de notre gamme, dont la plage de pression est de 0,01 à 0,1 MPa.

Nous déconseillons l'utilisation de gaz inflammables, explosifs ou toxiques. Si votre procédé requiert l'emploi de tels gaz, veuillez mettre en œuvre les mesures de protection et de sécurité antidéflagrantes appropriées. Notre société décline toute responsabilité en cas de problèmes liés à l'utilisation de gaz inflammables, explosifs ou toxiques.