Procédures de fonctionnement du four à tubes sous vide

Pour les acheteurs B-end dans les domaines de la recherche et du développement de matériaux et de la fabrication de semi-conducteurs, maîtrisant le fonctionnement standardisé depetit four à tubes sous videpeut garantir la sécurité expérimentale, la répétabilité des données et la durée de vie de l'équipement. Grâce à sa conception compacte et à son contrôle précis de la température, cepetit four à tubes sous videest devenu le choix privilégié pour les expériences sous vide haute température en petites séries dans les laboratoires universitaires, les centres de R&D et les PME. Dans cet article, je vous présenterai les procédures opérationnelles complètes de ce procédé.petit four à tubes sous videpour vous aider à exploiter pleinement les performances de votre équipement.

Trois inspections doivent être effectuées avant de commencer lepetit four à tubes sous videPour éviter tout risque potentiel, il est essentiel d'inspecter l'équipement. Il est nécessaire de vérifier que l'enveloppe extérieure du four n'est pas endommagée, que le tube du four n'est pas fissuré, que le cordon d'alimentation et la ligne de commande sont correctement branchés et que le système de vide est stable et en bon état. Il est également important de vérifier le système de refroidissement par air. Il est important de vérifier l'état du ventilateur de refroidissement.petit four à tubes sous videL'appareil est en bon état et la sortie d'air n'est pas obstruée. Après la mise sous tension, vérifiez le bon fonctionnement du ventilateur et la propreté de son filtre anti-poussière afin d'éviter toute surchauffe et tout dommage aux composants internes du four dû à une mauvaise dissipation thermique. Enfin, préparez les échantillons et l'outillage. Compte tenu de la longueur de la zone de chauffe (150 mm) de l'équipement, il est nécessaire de choisir une petite nacelle d'échantillons adaptée, d'y placer les échantillons uniformément, puis de l'insérer lentement dans la zone de chauffe centrale du tube du four. Fermez la porte du four et serrez la bride pour assurer un ajustement parfait de la surface d'étanchéité sous vide.

Lors de la phase de démarrage, il est nécessaire de respecter le principe de priorité au vide. Commencez par mettre la pompe à vide sous tension et ouvrez lentement la vanne de vide. Une fois le vide atteint la valeur standard, l'appareil continue de fonctionner pendant 10 à 15 minutes afin d'éliminer l'air résiduel dans le tube du four. Ensuite, démarrez le système de régulation de température et définissez la courbe de chauffe. La vitesse de chauffe recommandée est de 2 à 10 °C/min. Il est à noter que 1 800 °C représente la température maximale à court terme.petit four à tubes sous videUne utilisation continue ne peut excéder 30 minutes. Il est recommandé d'utiliser une température de 800 à 1750 °C pour les travaux conventionnels, ce qui peut prolonger la durée de vie de l'élément chauffant en silicium-molybdène.

Pendant le processus de chauffage, il est important de surveiller attentivement les variations des paramètres. 30 minutes avant la température cible, enregistrez les valeurs de température et de vide affichées sur l'écran de contrôle toutes les 5 minutes, afin que l'écart entre la température réelle et la valeur de consigne soit ≤±1 °C, et vérifiez l'absence de fluctuations anormales du vide. Parallèlement, vérifiez l'état du système de refroidissement par air toutes les 10 minutes et touchez le côté dupetit four à tubes sous videLa coque du four permet de vérifier que la température n'a pas augmenté anormalement et que le ventilateur continue de fonctionner de manière stable. Lorsque la température atteint la valeur cible, le four entre en phase d'isolation thermique. À ce stade, il est nécessaire de maintenir la pompe à vide en fonctionnement continu et d'éviter tout réglage fréquent des paramètres de température pendant cette phase afin d'éviter que des fluctuations excessives n'affectent les résultats expérimentaux. De plus, il est interdit d'ouvrir la porte du four ou de régler la bride pendant cette phase afin d'éviter toute entrée d'air soudaine dans le tube du four, susceptible de provoquer une réaction d'oxydation ou une rupture du tube due à des variations de pression soudaines.

Une fois l'expérience terminée, il est nécessaire de refroidir le four conformément au procédé. Commencez par éteindre le système de contrôle de température, laissez le système de refroidissement et la pompe à vide en marche et attendez que la température du four descende en dessous de 300 °C. Arrêtez ensuite la pompe à vide et ouvrez lentement la vanne de vide pour faire passer le gaz inerte et équilibrer la pression. Lorsque la température descend encore en dessous de 100 °C, la porte du four peut être ouverte pour retirer la nacelle d'échantillon. Bien entendu, la maintenance ultérieure est indispensable. Après l'expérience, utilisez un chiffon imbibé d'alcool pour nettoyer les débris d'échantillon restants dans le tube du four et vérifiez également l'état de la bague d'étanchéité à vide. Si elle est déformée ou usée, elle doit être remplacée rapidement. Enfin, coupez l'alimentation électrique de tous les équipements, nettoyez le filtre anti-poussière du ventilateur, enregistrez la courbe de température, les variations de vide et l'état de fonctionnement de l'équipement pendant l'expérience, et établissez un journal d'exploitation pour la maintenance et l'optimisation ultérieures du procédé.petit four à tubes sous vide.