L’essor de la technologie de polissage chimico-mécanique
Avec le développement rapide de l'industrie des semi-conducteurs, la taille des appareils électroniques continue de diminuer et les exigences en matière de planéité de la surface des plaquettes deviennent de plus en plus strictes. Surtout dans le processus de fabrication de circuits intégrés actuel, la surface de la tranche doit être aplatie au niveau nanométrique, et la technologie d'aplatissement local traditionnelle ne peut plus répondre à cette demande. Cependant, notre UMIPOL-1203machine de polissage chimico-mécaniquepeut actuellement parvenir à un aplatissement global.
La technologie du polissage chimico-mécanique est apparue depuis les années 1990 et est devenue un élément indispensable du processus de fabrication de circuits intégrés à très grande échelle (VLSI). Comparé aux processus de planarisation locale traditionnels tels que la méthode du flux thermique, la méthode du filage du verre et le dépôt sélectif, UNIPOL-1203machine de polissage chimico-mécaniquepeut non seulement réaliser une planarisation complète, mais présente également les avantages d'un processus simple, d'un rendement élevé et d'un faible coût.Machine de polissage mécano-chimiqueest largement utilisé dans le traitement graphique des plaquettes de silicium.
Shenyang Kejingmachine de polissage chimico-mécanique entièrement automatique peut non seulement fournir une planarisation de haute précision des plaquettes de silicium, mais est également largement utilisé dans le meulage et le polissage de précision des matériaux céramiques et métalliques. Les matériaux anticorrosion utilisés dans lemachine de polissage chimico-mécanique entièrement automatiquepeut fonctionner efficacement même lorsque le fluide de broyage est corrosif, améliorant considérablement la durabilité et l'adaptabilité de l'équipement.
Les principales caractéristiques et avantages techniques de la machine de meulage et de polissage chimico-mécanique :
1. Aplatissement de haute précision :Machine de meulage et de polissage chimico-mécaniqueest équipé d'un disque de polissage ultra-plat en acier inoxydable et d'un axe rotatif ultra-précis, la machine de polissage mécanique chimique automatique peut contrôler la planéité de la surface au niveau nanométrique.
2. Conception automatisée :Machine de meulage et de polissage chimico-mécaniquedispose d'un écran tactile de contrôle entièrement automatique, qui peut régler la vitesse de la broche, la vitesse du bras oscillant et le temps de meulage et de polissage, prendre en charge le fonctionnement multitâche et améliorer encore l'efficacité du traitement.
3. Conception résistante à la corrosion : la partie abrasive demachine de polissage mécanique chimique automatiqueest fait de matériaux résistants à la corrosion chimique, qui peuvent faire face à la corrosion de différents liquides de polissage chimique et s'adapter à un large éventail de besoins de meulage de matériaux.
Machine de polissage mécanique chimique automatiquefournit des méthodes de traitement d'aplatissement efficaces et précises pour les entreprises de l'industrie des semi-conducteurs, de la fabrication de précision et de la science des matériaux. De plus, nos produits ont été exportés vers le Japon, la Russie, l'Europe et d'autres pays et régions, et ont été bien accueillis par les clients. Bienvenue dans notre entreprise ou faites-nous part de vos besoins, nous deviendrons votre partenaire de confiance !