Instrument de pulvérisation à trois cibles au plasma

1. Le dispositif de revêtement par pulvérisation plasma à trois cibles est équipé d'un vacuomètre et d'un courantomètre de pulvérisation, qui peuvent surveiller le fonctionnement de l'équipement à tout moment pour obtenir un effet de revêtement stable et fiable. 2. Le dispositif de revêtement par pulvérisation plasma à trois cibles peut ajuster la pression de la chambre à vide, le courant d'ionisation et sélectionner le gaz d'ionisation approprié via le contrôleur de courant de pulvérisation et la micro-vanne à air sous vide pour optimiser l'effet de revêtement. 3. Le joint en caoutchouc du bord de la cloche spécialement conçu ne provoquera pas de fissure dans la cloche en verre après une utilisation à long terme, améliorant ainsi la durabilité du revêtement par pulvérisation plasma à trois cibles.