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Système de revêtement par évaporation continue à plusieurs chambres

1. Notre machine de revêtement sous vide par évaporation permet une injection continue d'échantillons, ce qui la rend parfaitement adaptée aux expériences ou projets professionnels.
2. Notre machine de revêtement sous vide par évaporation est entièrement automatisée, ce qui permet de réaliser des économies sur les coûts de personnel et de formation.
3. La machine de revêtement sous vide par évaporation est équipée de quatre zones de travail, accélérant ainsi le déroulement du projet et permettant un chauffage séparé.

  • Shenyang Kejing
  • Shenyang, Chine
  • 10 jours ouvrables
  • 50 ensembles
  • information

Présentation de la machine de revêtement sous vide par évaporation : 

La machine de revêtement par évaporation continue GSL-1800X-ZF-AM est un appareil professionnel de revêtement par évaporation sous vide poussé, à injection continue d'échantillons. Sa conception multichambre, comprenant une chambre de transfert et une chambre de revêtement, permet un transfert continu des échantillons et des opérations de revêtement automatisées dans un environnement sous vide stable. Le porte-substrat effectue un mouvement de va-et-vient entre les deux chambres, assurant un fonctionnement synchrone entièrement automatisé grâce à un moteur à fréquence modulée. La position et la vitesse de va-et-vient de la machine sont réglables. Elle intègre également des fonctions de positionnement à double chambre et de réinitialisation, améliorant considérablement l'efficacité expérimentale et la reproductibilité du revêtement.


La machine de revêtement par évaporation continue est particulièrement adaptée au revêtement par évaporation de matériaux métalliques sensibles à l'oxygène (tels que le titane, l'aluminium, l'or, etc.) et de matériaux organiques à petites molécules. Le système de revêtement sous vide par évaporation thermique est équipé de quatre nacelles de chauffage à commande indépendante, chacune capable de réaliser un processus d'évaporation autonome. Une structure de déflecteur rotative placée au-dessus de chaque nacelle protège efficacement les autres nacelles lors du fonctionnement d'une seule nacelle, empêchant ainsi la contamination croisée du matériau évaporé et garantissant la pureté du film.


En modifiant certaines configurations, le système de revêtement sous vide par évaporation thermique peut également prendre en charge le revêtement par évaporation de divers matériaux organiques, ce qui le rend idéal pour la recherche sur les matériaux avancés tels que les dispositifs électroluminescents OLED et les cellules photovoltaïques organiques (OPV). Cinq électrodes refroidies à l'eau sont situées au fond de la chambre, assurant une protection continue des électrodes pendant l'évaporation à haute température afin de prévenir les dommages dus à la fusion thermique et d'améliorer la durabilité et la stabilité du système.


Le système de revêtement sous vide par évaporation thermique GSL-1800X-ZF-AM utilise une chambre à vide métallique de haute fiabilité, atteignant un vide maximal de 5,0 × 10⁻⁷ Torr. La platine porte-échantillon permet de chauffer les échantillons (de la température ambiante à 500 °C), assurant ainsi un environnement thermique stable et contrôlable pour le dépôt de couches minces de haute qualité. Grâce à ses performances de vide poussé, sa flexibilité de mise en œuvre et son excellent rapport coût-efficacité, ce système de revêtement sous vide par évaporation thermique est idéal pour les instituts de recherche et les laboratoires menant des travaux sur le revêtement par évaporation sous vide poussé.

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Avantages de la machine de revêtement sous vide par évaporation :

• Conception multichambre de la machine de revêtement par évaporation continue : composée d’une chambre de transfert et d’une chambre de revêtement par évaporation, permettant un revêtement par évaporation rapide et continu de l’échantillon.

• Gestion centralisée du contrôle du vide : L'unité de vide est intégrée dans un boîtier de commande intégré pour une utilisation facile.

• Contrôle indépendant du courant d'évaporation : facilite le réglage précis du taux d'évaporation.

· La chambre est équipée d'une vanne de dérivation KF40 (directement connectée à la pompe d'alimentation pour une meilleure efficacité de pompage), d'une vanne à guillotine CF150 (directement connectée à la pompe moléculaire), d'une bride KF16 (pour le montage d'une jauge de résistance) et de six brides CF35 (une pour une jauge d'ionisation, une pour une électrode à 2 broches, une pour une jauge d'épaisseur de film et trois interfaces de rechange).

· Système de refroidissement à eau haute efficacité : cinq électrodes refroidies à l’eau sont situées au fond de la chambre, supportant simultanément quatre creusets de chauffage par dépôt de vapeur.

· L'étage d'échantillonnage de la machine de revêtement sous vide par évaporation est doté d'une conception montée sur le dessus pour une installation et un fonctionnement faciles.

· Jauge d'épaisseur de film haute résolution en option : précision de mesure de l'épaisseur du film d'aluminium jusqu'à 0,1 Å.

· La machine de revêtement sous vide par évaporation peut être équipée d'un refroidisseur d'eau à circulation pour assurer une stabilité de fonctionnement à long terme.


Paramètres techniques de la machine de revêtement sous vide par évaporation :

Nom du produitMachine de revêtement par évaporation continue GSL-1800X-ZF-AM
Modèle de produitGSL-1800X-ZF-AM

Exigences d'installation du système de revêtement sous vide

1Ce système de revêtement sous vide par évaporation thermique est adapté à une utilisation dans des environnements dont la température est de 25℃±15℃ et l'humidité relative de 55%RH±10%.

2. Source d'eau : Le système de revêtement sous vide par évaporation thermique est équipé d'un système d'eau de refroidissement à circulation automatique, nécessitant l'ajout d'eau purifiée ou déminéralisée.

3. Alimentation électrique du système de revêtement sous vide : monophasé AC220V 50Hz, avec mise à la terre fiable requise.

4. Banc de travail du système de revêtement sous vide : Sur pied, surface au sol recommandée d'au moins 2 mètres carrés, assurant un placement stable de l'équipement.

5. Ventilation : Nécessite une bonne ventilation ou des systèmes d'évacuation pour assurer la sécurité de fonctionnement et une dissipation efficace de la chaleur.

Paramètres du système de revêtement sous vide

1. Alimentation : monophasé 220 V CA, 50/60 Hz, ppuissance <2,16 kW (pompe à vide exclue).

2. Sortie d'évaporation : Tension CA 0–8V réglable en continu, courant d'évaporation maximal 200A, puissance d'évaporation maximale <1,6kW.

3. Chambre à vide : diamètre intérieur Ø300 mm × hauteur 360 mm, acier inoxydable, paroi intérieure électropolie.

4. Fenêtre d'observation : Ø100 mm, utilisant un joint d'étanchéité spécial pour assurer l'étanchéité à l'air.

5. Pompe à vide : Pompe turbomoléculaire à grande vitesse, vitesse de pompage 600 L/s.

6. Vide de travail : 8,0×10⁻⁴Pa.

7. Vide ultime : 8,0×10⁻⁵Pa.

8. Taux de fuite : 6,7×10⁻⁸Pa·L/s.

9. Platine d'échantillon : Diamètre φ120mm.

10. Distance entre le bateau d'évaporation et la platine porte-échantillon : réglable de 140 à 200 mm.

11. Besoins en eau de refroidissement : 15 L/min.

12. Température de chauffage de l'étape d'échantillonnage : Température ambiante~500℃, prend en charge le contrôle automatique de la température et la mesure de la température.

ConformitéLa certification CE, UL ou CSA est disponible moyennant un supplément.


À propos de nous:

Spécialisée dans le marché de la recherche scientifique, notre entreprise s'adresse principalement aux établissements d'enseignement supérieur, aux instituts de recherche et aux laboratoires. Nous avons à cœur de contribuer au progrès de la société grâce à des technologies innovantes, une approche centrée sur le client et des services de recherche scientifique professionnels et performants. Notre ambition est de devenir un acteur majeur et reconnu dans le domaine des instruments de recherche scientifique, jouissant d'une grande fiabilité, d'une excellente réputation et d'une forte influence à l'échelle internationale.


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