Système de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique multichambre continue
1. Notre nouveau système de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique VTC-600GC-AM est entraîné par un moteur à modulation de fréquence, offrant un haut degré d'automatisation.
2. Le système de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique, conçu et contrôlé avec minutie par notre département technique, améliore considérablement la stabilité du fonctionnement de l'équipement et améliore significativement l'expérience utilisateur.
3. Le système de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique offre une gamme d'applications plus large que les produits similaires, et sa taille compacte facilite le stockage.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation du système de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique :
La machine de pulvérisation cathodique VTC-600GC-AM est un équipement de préparation de couches minces haute performance de conception récente, composé d'une chambre de transfert et d'une chambre de pulvérisation. Le porte-substrat effectue un mouvement de va-et-vient entre les deux chambres grâce à un moteur à modulation de fréquence, assurant ainsi un fonctionnement synchrone automatique. La position et la vitesse de déplacement sont réglables avec précision. Les deux chambres de la machine sont équipées de fonctions d'étalonnage de positionnement, permettant une remise à zéro rapide afin de garantir la stabilité et la répétabilité du procédé.
La machine de pulvérisation cathodique convient à la préparation de divers types de couches minces, notamment : couches minces ferroélectriques, conductrices, en alliage, semi-conductrices, céramiques, diélectriques, optiques, d’oxyde, dures, en PTFE, etc. Elle peut être équipée d’une structure multi-cibles et être alimentée par une source RF (pour les cibles non conductrices) ou une source CC (pour les cibles conductrices) afin de répondre aux besoins de pulvérisation cathodique de différents matériaux, ce qui lui confère une large applicabilité.
Comparée aux équipements traditionnels, la machine de pulvérisation cathodique VTC-600GC-AM offre une large gamme d'applications et une grande évolutivité fonctionnelle, tout en se distinguant par sa structure compacte, sa simplicité d'utilisation et son faible encombrement. Elle constitue un système idéal pour la préparation en laboratoire de matériaux en couches minces de haute qualité, particulièrement adapté aux domaines de recherche de pointe tels que les électrolytes solides, les OLED et les matériaux optoélectroniques organiques/inorganiques.
Le VTC-600GC-AM offre aux chercheurs une solution professionnelle et efficace de préparation de couches minces grâce à ses performances stables et fiables, son effet de pulvérisation à haute uniformité et ses capacités d'extension flexibles.
Principales caractéristiques de la machine de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique :
• Structure à double chambre : La machine de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique est composée d'une chambre de transfert et d'une chambre de pulvérisation, permettant un transfert rapide des échantillons et un revêtement continu, améliorant considérablement l'efficacité de la préparation des films.
• Configuration multicible flexible : La machine de pulvérisation cathodique magnétronique peut être équipée de plusieurs canons à cibles, prend en charge les alimentations RF et CC et convient aux cibles conductrices et non conductrices. Les canons à cibles sont interchangeables selon les besoins du procédé.
• Large gamme d'applications : La machine de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique peut préparer différents types de films minces, notamment des métaux, des oxydes, des céramiques, des diélectriques et des films optiques, répondant aux besoins de recherche de nombreux domaines.
• Taille compacte et fonctionnement simple : la machine de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique présente un faible encombrement et une disposition raisonnable, ce qui la rend pratique pour une utilisation en laboratoire.
• Conception modulaire : La chambre de transfert, la chambre à vide, le groupe de pompage et l'alimentation électrique peuvent tous être configurés indépendamment, facilitant ainsi l'extension et la maintenance.
• Configuration d'alimentation électrique optionnelle : La machine de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique prend en charge la commande d'une seule alimentation pour plusieurs canons cibles, ou la commande indépendante de plusieurs alimentations, répondant ainsi aux exigences des différents procédés de préparation de films.
Paramètres techniques de la machine de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique :
| Nom du produit | Système de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique multichambre continue VTC-600GC-AM |
| Modèle de produit | VTC-600GC-AM |
| Paramètres principaux | 1. Structure de l'équipement : Conception à ouverture frontale sur table, système d'aspiration monté à l'arrière. 2. Vide ultime : 6,0 × 10⁻⁵ Pa. 3. Taux de fuite : ≤ 0,5 Pa / 1 h. 4. Efficacité de pompage : Environ 5 minutes pour pomper de la pression atmosphérique à 5,0 × 10⁻³ Pa. 5. Ensemble pompe à vide : Combinaison pompe mécanique + pompe moléculaire. 6. Paramètres de l'étape d'échantillonnage : · Dimensions : φ140 mm ; · Plage de température : Température ambiante ~ 500 ℃ (peut être augmentée sur demande) ; · Précision du contrôle de la température : ±1 ℃ ; · Vitesse de rotation : réglable de 5 à 20 tr/min ; • Module de polarisation optionnel pour améliorer la qualité du film. 7. Système d'entrée : Débitmètre massique à double canal (Ar / N₂). 8. Angle d'installation de la cible : angle de 34° entre la cible et l'axe central de la platine porte-échantillon. 9. Nombre de cibles : Configuration standard : 3 cibles, espacées de 120° (plus de cibles peuvent être personnalisées). 10. Méthode de refroidissement cible : Refroidissement à l'eau. 11. Dimensions du matériau cible : φ2″, épaisseur 0,1–5 mm (l’épaisseur varie en fonction du type de matériau cible). |
| Conformité | La certification CE, UL ou CSA est disponible moyennant un supplément. |
Points clés de fonctionnement d'un système de revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique :
1. Traitement de surface du substrat : Avant le revêtement, le substrat doit subir un traitement de surface approprié afin de garantir une adhérence uniforme et une bonne durabilité. Les méthodes de traitement de surface peuvent inclure le nettoyage, la décontamination, le polissage et le décapage.
2. Sélection du revêtement : Lors du choix d'un revêtement, ses propriétés physico-chimiques, sa solubilité, sa viscosité et sa teneur en matières solides doivent être prises en compte, et un revêtement approprié doit être sélectionné en fonction des exigences du matériau.
3. Contrôle de l'épaisseur du revêtement : L'épaisseur du revêtement est un facteur important qui influe sur ses performances. Il est nécessaire de la contrôler pendant le processus de revêtement, généralement en ajustant la vitesse de raclage de la tige ou de la racle, l'épaisseur du film déposé par la machine et la viscosité du revêtement.
4. Contrôle de l'uniformité du revêtement : L'uniformité du revêtement influe considérablement sur ses performances. Lors de l'application, il est essentiel de maintenir une répartition homogène du revêtement et de s'assurer que sa surface est exempte de défauts et de bulles apparents.
5. Réglage des paramètres de la machine de revêtement : Le réglage des paramètres de la machine de revêtement est également crucial. La température, la vitesse, le niveau de vide et les autres paramètres doivent être correctement réglés en fonction des différents types de revêtements et de substrats afin de garantir la qualité et les performances du revêtement.
6. Sécurité d'utilisation : Des précautions de sécurité doivent être prises lors de l'utilisation de la machine de revêtement, notamment en raison de la toxicité de certains matériaux. Le port de lunettes de protection, de gants et d'un masque respiratoire est recommandé afin de protéger le personnel et l'environnement.
À propos de nos services :
Nous nous consacrons depuis de nombreuses années à la recherche et à la conception d'équipements de laboratoire, et bénéficions d'une technologie de pointe et d'une solide expérience. Concernant les machines de revêtement à plat, nous possédons une expertise de plusieurs années en R&D, et nos équipements présentent des avantages significatifs en termes de précision, de stabilité et d'efficacité.
