Moniteur d'épaisseur de film EQ-TM106
1. Cet instrument d'inspection de revêtements de laboratoire est un moniteur d'épaisseur de film QCM de haute précision pour les technologies MBE, OLED et de pulvérisation cathodique. Il garantit que l'épaisseur du revêtement répond aux exigences expérimentales.
2. L'équipement dispose également d'un contrôle de vitesse en temps réel, d'une résolution de 0,0136 Å et d'une exportation de données vers un PC.
3. L'équipement est fourni avec un service d'assistance avant et après-vente dédié. En cas de dysfonctionnement ou de dommage d'un composant, veuillez nous contacter immédiatement ; nous offrons une garantie d'un an (couvrant les problèmes non imputables à une mauvaise utilisation).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation du moniteur d'épaisseur de préparation du film :
Le moniteur d'épaisseur de film EQ-TM106 utilise le principe d'oscillation d'un cristal de quartz, associé à une technologie de mesure de fréquence avancée, pour assurer une surveillance en temps réel et in situ de l'épaisseur du film. Il est principalement utilisé lors des procédés de dépôt de couches minces — tels que ceux impliquant l'épitaxie par jets moléculaires (MBE), l'évaporation thermique d'OLED et la pulvérisation cathodique magnétronique — pour un suivi continu de l'épaisseur de la couche et de la vitesse de dépôt.
En fonction du taux de dépôt en temps réel de la couche mince, le moniteur EQ-TM106 génère un signal de sortie analogique PWM (modulation de largeur d'impulsion). Fonctionnant comme un capteur d'épaisseur dédié, il s'intègre aux contrôleurs externes et aux alimentations d'évaporation pour permettre une régulation en boucle fermée du débit de la source d'évaporation, facilitant ainsi la mesure précise de l'épaisseur de la couche déposée.
Le moniteur d'épaisseur de film EQ-TM106 présente une conception compacte qui permet de gagner de la place dans le laboratoire ; de plus, son principe de fonctionnement simple et son interface conviviale le rendent particulièrement adapté aux applications de dépôt de couches minces à l'échelle du laboratoire.
Spécifications techniques du produit :
| Nom du produit | Moniteur d'épaisseur de film EQ-TM106 | ||
| Modèle de produit | EQ-TM106 | ||
| Spécifications techniques | Module de surveillance EQ-TM106-1 1. Alimentation : 5 V CC (±10 %), courant max. 400 mA 2. Résolution en fréquence : ±0,03 Hz 3. Résolution de l'épaisseur du film : 0,0136 Å (aluminium) 4. Précision de l'épaisseur du film : ±0,5 % (en fonction des conditions de processus, notamment de la position du capteur, des contraintes du matériau, de la température et de la densité) 5. Vitesse de mesure : 100 ms – 1 s par mesure (configurable) 6. Plage de mesure : 500 000 Å (aluminium) 7. Cristal du capteur standard : 6 MHz 8. Interface informatique : interface série RS-232/485 (débits en bauds configurables : 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 ; bits de données : 8 ; bits d’arrêt : 1 ; parité : aucune) 9. Sortie analogique : résolution 8 bits, sortie PWM (modulation de largeur d’impulsion) (collecteur ouvert ou sortie interne 5 V) 10. Environnement de fonctionnement : Température 0–50 °C ; Humidité 5 %–85 % HR (sans condensation) 11. Dimensions : 90 mm × 50 mm × 18 mm | ||
Unité d'affichage EQ-TM106-2 1. Alimentation : CA 220 V ±10 % 2. Puissance de sortie : 5 V CC, 3 A 3. Affichage : 12×2 tubes numériques et LED 4. Port de communication : RS-485 (Débits de transmission sélectionnables : 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 ; Bits de données : 8 ; Bits d’arrêt : 1 ; Parité : Aucune) 5. Dimensions : 182 mm × 65 mm × 160 mm | |||
Sonde EQ-TM106-3 1. Fréquence du cristal compatible : 6 MHz 2. Taille du cristal compatible : Ø14 mm 3. Bride de montage : CF35 4. Tuyaux d'eau de refroidissement : Ø 3 mm ; longueurs : 300 mm, 500 mm, 1 000 mm 5. Pression de l'eau de refroidissement : < 0,3 MPa 6. Tube de volet pneumatique : Ø3 mm 7. Pression d'air comprimé : <0,8MPa, >0,5MPa 8. Température de cuisson : < 200 °C (avec circulation d’eau) ; bride < 100 °C (sans circulation d’eau) 9. Interface électrique : prise BNC | |||
| Accessoires standard | 1 | Module de surveillance EQ-TM106-1 | 1 unité |
| 2 | Unité d'affichage EQ-TM106-2 | 1 unité | |
| 3 | Sonde EQ-TM106-3 | 1 unité | |
Principales caractéristiques du moniteur de dépôt de couches minces :
1. Cet appareil peut être connecté à un ordinateur.
2. L'unité d'affichage présente une interface claire, intuitive et bien organisée, offrant une utilisation simple et rapide. Elle fournit un affichage visuel en temps réel des paramètres de fonctionnement, notamment l'épaisseur du film mesurée, le taux de dépôt, la fréquence et le pourcentage de la sortie de commande PWM.
3. Via le logiciel ou l'unité d'affichage, les utilisateurs peuvent configurer divers paramètres, tels que le temps de porte, le mode de sortie, l'algorithme de taux, les paramètres de matériau, la plage de sortie et les paramètres de communication, et peuvent exporter les données mesurées pertinentes directement dans un fichier Excel.
4. L'appareil se distingue par son format compact, sa haute précision de mesure, sa simplicité d'utilisation et sa facilité d'utilisation.
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