Enrobeuse centrifuge (8 000 tr/min, wafer de 4 po max.) avec 3 mandrins à vide
L'enrobeuse centrifuge sous vide VTC-100 est équipée de trois mandrins à vide (standard) de tailles différentes, adaptables à la taille des échantillons. En fonctionnement, l'enrobeuse centrifuge sous vide VTC-100 utilise la méthode d'adsorption par plaque sous vide pour fixer l'échantillon sur la plaque. L'équipement utilise un programme à deux étapes pour contrôler la vitesse.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation du produit
L'enrobeuse centrifuge sous vide VTC-100 est adaptée à des procédés tels que la fabrication de semi-conducteurs, la photolithographie et le revêtement de surface. Facile à utiliser, facile à nettoyer et compacte, elle est principalement utilisée dans les laboratoires universitaires et les instituts de recherche pour la préparation de couches minces.
L'équipement utilise une méthode de fixation par vide pour les échantillons, facilitant le chargement et le déchargement des échantillons tout en réduisant les étapes opérationnelles auparavant complexes. Il est équipé de série de trois mandrins à vide en polypropylène (φ25 mm, φ50 mm et φ100 mm), ce qui le rend idéal pour le revêtement de plaquettes de silicium et d'autres matériaux de différentes tailles.
Le système d'alimentation interne sépare la partie moteur de la partie commande, chacune disposant d'une alimentation indépendante. Le système de contrôle de vitesse utilise un microcontrôleur hautement résistant aux interférences, garantissant une rotation stable entre 1 000 et 8 000 tr/min. Le dispositif de centrifugation démarre rapidement et maintient une vitesse stable, garantissant ainsi une épaisseur de film uniforme et constante. De plus, des mesures d'amortissement des vibrations ont été intégrées à la structure de l'installation, améliorant la stabilité de l'équipement en fonctionnement et réduisant le bruit.
Caractéristiques principales
1. La vitesse est contrôlée par un programme en deux étapes : la colle est injectée dans la première étape à basse vitesse et la colle est nivelée dans la deuxième étape à grande vitesse.
2. L'échantillon est fixé par adsorption sous vide, ce qui est facile à utiliser et pratique pour prélever et placer l'échantillon.
3. Structure en aluminium moulé, fonctionnement stable et faible bruit
4. Les alimentations du moteur et du contrôleur sont fournies indépendamment.
5. La régulation de la vitesse est contrôlée par un ordinateur à puce unique avec une haute anti-interférence, et la vitesse est très stable dans la plage de 1000 à 8000 tr/min.
6. Affichage numérique à LED, avec fonction d'affichage du compte à rebours du revêtement par centrifugation
7. La pompe à vide à barres parallèles sans huile présente les avantages d'une petite taille, d'une structure simple, d'une utilisation facile, d'un entretien pratique et d'aucune pollution de l'environnement.
TParamètres techniques
Nom du produit | Enrobeuse centrifuge sous vide VTC-100 | |
Modèle de produit | VTC-100 | |
Conditions d'installation | 1. Température et humidité : 10-85 % HR (à 25 ℃ sans condensation) Température : 0-45 ℃. 2. Il n’y a pas de source de vibrations fortes ni de gaz corrosif autour de l’équipement. 3. L'eau n'est pas nécessaire 4. Électricité : Monophasé : AC220V 50Hz 10A. 5. Gaz : Le débit d'échappement sous vide à pression négative (pompe à vide) n'est pas inférieur à 70 L/min 6. Établi : 800 mm × 600mm×700 mm recommandé pour un poids de plus de 100 kg (une plate-forme en ciment solide est préférable) 7. Dispositif de ventilation : aucune exigence particulière | |
Les principaux paramètres | 1. Interface d'alimentation : Prise de courant avec assurance : AC220/110 V 50/60 Hz, spécification du tube d'assurance 10 A, φ5 × 20 mm 2. Puissance totale : ≤ 150 W 3. Plateau d'échantillons (ventouse) : Ventouse à vide en polypropylène Φ25 mm φ50 mm φ100 mm, une de chaque 4. Mode de fonctionnement : Rotation dans le sens inverse des aiguilles d'une montre, avec deux étapes de fonctionnement 5. Vitesse de revêtement : Vitesse SPD1 : 500-8000 tr/min effectif Vitesse SPD2 : 500-8000 tr/min effectifs 6. Temps de revêtement : Temps T1 : 1 à 600 s effectif Temps T2 : 1 à 600 s effectif 7. Stabilité de la vitesse : ±1% 8. Mode de contrôle : micro-ordinateur monopuce PCB, commande par bouton, affichage à tube numérique | |
9. Spécifications du produit : · Dimensions : 380 mm × 260 mm × 330 mm · poids : 12 kg |
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Saccessoires standard
Non. | nom | quantité | image |
1 | Mandrin à vide (PP,Ø25mm,Ø50mm,Ø100mm) | 1 pièce chacun | |
2 | Injecteur/Seringue | 1 pièce | |
3 | Pompe à vide sans huile | 1 pièce | ![]() |
LEAccessoires en option
Non. | nom | type fonctionnel | image |
1 | Mandrin à vide spécial (PTFE, alliage d'aluminium) | (facultatif) | - |
2 | Mandrin de taille micro | (facultatif) | |
3 | Filtre (pour pompe à vide) | (facultatif) | - |
4 | Pipette (fabriquée en Chine) | (facultatif) | |
5 | Pipette (importée) | (facultatif) | |
6 | Plaque de serrage d'échantillon | (facultatif) |
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Garantie
Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (hors pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates)
Logistique







