Enrobeuse par évaporation thermique sous vide avec quatre sources de chauffage
L'évaporateur GSL-1800X-ZF4 est un appareil d'évaporation sous vide poussé, particulièrement adapté à l'évaporation et au dépôt de films métalliques sensibles à l'oxygène (tels que le titane, l'aluminium, l'or, etc.) et de composés organiques de petite taille. Il est équipé de quatre nacelles chauffantes pour l'évaporation, chacune pouvant fonctionner indépendamment.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 22 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation du produit
Le système d'évaporation GSL-1800X-ZF4 est un système de revêtement par évaporation sous vide poussé, spécialement conçu pour le dépôt de films métalliques sensibles à l'oxygène (tels que le titane, l'aluminium et l'or) et de matériaux organiques à petites molécules. Il est équipé de quatre nacelles d'évaporation chauffantes indépendantes, pouvant fonctionner séparément. Un écran rotatif placé au-dessus des nacelles protège les trois autres pendant l'évaporation, évitant ainsi toute contamination croisée entre les matériaux. Grâce à des options de configuration, il permet également le dépôt de matériaux organiques, répondant aux besoins de la recherche sur les dispositifs électroluminescents et les cellules solaires organiques. Ce système constitue ainsi une solution de revêtement de laboratoire performante et économique.
Le fond de la chambre comporte cinq électrodes refroidies à l'eau afin de maintenir leur température pendant le fonctionnement, évitant ainsi toute surchauffe, fusion ou dommage. L'appareil utilise une chambre à vide métallique capable d'atteindre un vide maximal de 5,0 × 10⁻⁵-7 torr. La platine porte-échantillon est chauffée de la température ambiante jusqu'à 500 °C, ce qui en fait un choix idéal pour les expériences de revêtement par évaporation sous vide poussé.
Caractéristiques principales
1. Toutes les unités de commande du vide sont assemblées dans un seul boîtier de commande.
2. Il adopte un contrôleur de courant de revêtement par évaporation indépendant, pratique et rapide à utiliser.
3. La chambre à vide est équipée d'une vanne de pompage latérale KF40 (directement connectée à la pompe mécanique de l'étage avant pour améliorer l'efficacité), d'une vanne à guillotine CF150 (directement connectée à la pompe moléculaire), d'une bride KF16 (pour installer la jauge de résistance), de six brides CF35 (une pour installer la jauge d'ionisation, une pour installer une électrode à 2 noyaux et une pour installer une jauge d'épaisseur de film) et de 3 pièces de rechange.
4. Il y a 5 électrodes refroidies à l'eau au fond de la chambre, qui peuvent supporter 4 bateaux de chauffage par évaporation.
5. Le porte-échantillon est installé sur le dessus de la chambre.
6. Une jauge d'épaisseur de film haute résolution peut être installée dans la chambre, et la résolution de la mesure d'épaisseur de film (aluminium) est de 0,1 Å.
7. Un refroidisseur d'eau à circulation peut être utilisé.
Paramètres techniques
Nom du produit | Enduit par évaporation GSL-1800X-ZF4 | |
Modèle de produit | GSL-1800X-ZF4 | |
Conditions d'installation | Cet équipement doit être utilisé à une température de 25℃±15℃ et à une humidité de 55%Rh±10%Rh. 1. Eau : L'équipement est doté d'un refroidisseur d'eau à circulation automatique (remplissage en eau pure ou en eau déminéralisée). 2. Alimentation électrique : 220 V CA, 50 Hz, doit être correctement mise à la terre. 3. Établi : Modèle sur pied, couvrant une surface supérieure à 2 m².2 5. Dispositif de ventilation : nécessaire | |
Paramètres principaux (Spécification) | 1. Entrée : monophasé AC220V, 50Hz/60Hz, puissance <2,16kW (pompe à vide non comprise) 2. Sortie d'évaporation : tension alternative de 0 à 8 V réglable en continu, courant d'évaporation limité à 200 A, puissance d'évaporation limitée à < 1,6 kW 3. Chambre à vide : Ø300 mm (diamètre intérieur) × 360 mm (hauteur), acier inoxydable, paroi intérieure électropolie 4. Fenêtre d'observation : Ø 100 mm, étanche grâce à un joint torique spécial. 5. Pompe à vide : pompe turbomoléculaire à haut débit (600 L/s) 6. Degré de vide : 8,0 × 10-4Bien 7. Limite du vide : 8,0 × 10-5Bien 8. Taux de fuite : 6,7 × 10-8Pa·L/s 9. Étage d'échantillon : φ120 10. Distance entre le creuset d'évaporation et le porte-échantillon : 140-200 mm 11. Débit d'eau de refroidissement requis : 15 L/min 12. Température de chauffage du porte-échantillon : température ambiante à 500 °C, régulation et mesure automatiques de la température | |
Dimensions et poids du produit | 13. Spécifications du produit : Dimensions : 900 mm × 1100 mm × 1800 mm Poids : 230 kg |
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Garantie
Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (hors pièces rouillées dues à des conditions de stockage inadéquates).
Logistique
