Enrobeuse thermique sous vide à quatre sources de chauffage
L'évaporateur GSL-1800X-ZF4 est un appareil d'évaporation sous vide poussé, particulièrement adapté à l'évaporation et au revêtement de films métalliques sensibles à l'oxygène (tels que Ti, Al, Au, etc.) et de composés organiques à petites molécules. La machine est équipée de quatre cuves de chauffage d'évaporation, chacune capable d'effectuer l'évaporation indépendamment.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 22 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation du produit
Le dispositif d'évaporation GSL-1800X-ZF4 est un système d'évaporation sous vide poussé spécialement conçu pour le dépôt de films métalliques sensibles à l'oxygène (tels que Ti, Al, Au) et de matériaux organiques à petites molécules. Il est équipé de quatre nacelles d'évaporation chauffantes indépendantes, chacune pouvant fonctionner séparément. Un écran rotatif au-dessus des nacelles protège les trois autres pendant l'évaporation, empêchant ainsi efficacement la contamination croisée entre les matériaux. Grâce à des options de configuration, il peut également déposer des matériaux organiques, répondant ainsi aux besoins de recherche des dispositifs électroluminescents et des cellules solaires organiques. Il s'agit donc d'un système de revêtement de laboratoire performant et économique.
Le fond de la chambre est équipé de cinq électrodes refroidies par eau pour maintenir leur température pendant le fonctionnement et éviter ainsi toute surchauffe, fusion ou détérioration. L'appareil utilise une chambre à vide métallique capable d'atteindre un vide maximal de 5,0 × 10-7 torr. La platine d'échantillonnage est chauffée de la température ambiante jusqu'à 500 °C, ce qui en fait un choix idéal pour les expériences de revêtement par évaporation sous vide poussé.
Caractéristiques principales
1. Les unités de contrôle du vide sont toutes assemblées dans un seul boîtier de commande.
2. Il adopte un contrôleur de courant de revêtement par évaporation indépendant, qui est pratique et rapide à utiliser.
3. La chambre à vide est équipée d'une vanne de pompage latérale KF40 (directement connectée à la pompe mécanique de l'étage avant pour améliorer l'efficacité), d'une vanne à guillotine CF150 (directement connectée à la pompe moléculaire), d'une bride KF16 (pour installer la jauge de résistance), de six brides CF35 (une pour installer la jauge d'ionisation, une pour installer l'électrode à 2 noyaux et une pour installer la jauge d'épaisseur de film) et de 3 pièces de rechange.
4. Il y a 5 électrodes refroidies par eau au bas de la chambre, qui peuvent supporter 4 bateaux de chauffage par évaporation.
5. La platine d’échantillonnage est installée sur le dessus de la chambre.
6. Une jauge d'épaisseur de film haute résolution peut être installée dans la chambre et la résolution de la mesure de l'épaisseur du film (aluminium) est de 0,1 Å.
7. Un refroidisseur d’eau à circulation peut être utilisé.
Paramètres techniques
Nom du produit | Enrobeuse par évaporation GSL-1800X-ZF4 | |
Modèle de produit | GSL-1800X-ZF4 | |
Conditions d'installation | Cet équipement doit être utilisé à une altitude de 1000 m ou moins, à une température de 25℃±15℃ et à une humidité de 55%Rh±10%Rh. 1. Eau : L'équipement est équipé d'un refroidisseur d'eau à circulation automatique (remplissage d'eau pure ou d'eau déionisée) 2. Électricité : AC220V 50Hz, doit avoir une bonne mise à la terre 3. Établi : Type au sol, couvrant une surface de plus de 2 m2 5. Dispositif de ventilation : nécessaire | |
Principaux paramètres (Spécification) | 1. Entrée : monophasé AC 220 V, 50 Hz/60 Hz, puissance < 2,16 kW (hors pompe à vide) 2. Sortie d'évaporation : tension AC 0-8 V réglable en continu, courant d'évaporation limite 200 A, puissance d'évaporation limite < 1,6 kW 3. Chambre à vide : Ø 300 mm (ID) × 360 mm (H), acier inoxydable, paroi intérieure électropolie 4. Fenêtre d'observation : Ø100 mm, scellée avec un joint d'étanchéité spécial 5. Pompe à vide : pompe turbomoléculaire à grande vitesse de pompage avec une vitesse de pompage de 600 L/s 6. Degré de vide : 8,0 × 10-4Bien 7. Limite du vide : 8,0 × 10-5Bien 8. Taux de fuite : 6,7 × 10-8Pa·L/s 9. Étape d'échantillonnage : φ120 10. Distance entre la nacelle d'évaporation et le plateau d'échantillonnage : 140-200 mm 11. Eau de refroidissement requise : 15 L/min 12. Température de chauffage de l'étage d'échantillon : température ambiante ~ 500 ℃, contrôle automatique de la température et mesure de la température | |
Dimensions et poids du produit | 13. Spécifications du produit : · Dimensions : 900 mm × 1 100 mm × 1 800 mm · Poids : 230 kg |
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Garantie
Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (hors pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates)
Logistique
