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L'émergence et l'application de la technologie de pulvérisation cathodique ont connu de nombreuses étapes. Après plus de 30 ans de développement, la pulvérisation cathodique magnétron est devenue une méthode incontournable pour les films minces optiques, électriques et autres films fonctionnels. Que savez-vous de cette technologie ?
Sur la base de la pulvérisation cathodique magnétron, un vide poussé et un environnement de croissance à haute température sont utilisés, ainsi que la technologie plasma, pour améliorer l'efficacité du dépôt réactif et réaliser l'épitaxie de films par pulvérisation cathodique magnétron. Le film ainsi préparé présente une meilleure orientation du réseau et des propriétés cristallines exceptionnelles. Il trouve de nombreuses applications dans les domaines de la supraconductivité quantique, des matériaux ferroélectriques, piézoélectriques et thermoélectriques, entre autres. Le vide poussé permet de réduire l'influence des impuretés et d'éviter toute réaction indésirable des particules pulvérisées avec d'autres gaz lors du dépôt.