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Dans les domaines des sciences des matériaux modernes, de la fabrication de semi-conducteurs et de l'ingénierie optique, la production de couches minces uniformes et exemptes de défauts constitue une étape cruciale du processus de recherche et développement et de production. Afin de répondre aux exigences rigoureuses de la recherche de pointe – notamment en ce qui concerne les environnements de formation de couches, les températures de cristallisation et la compatibilité des solutions – l'appareil de dépôt par centrifugation sous vide VTC-100PAD offre une solution complète, efficace et de haute précision.
Démucilagination : Grâce à la centrifugeuse par pulvérisation VTC-200-4P, le procédé de dégommage humide consiste à appliquer un solvant organique goutte à goutte sur le film de résine photosensible à la surface du motif, ce qui dissout et élimine le film, laissant un motif propre. Les équipements de revêtement disponibles comprennent la centrifugeuse sous vide VTC-100PA, la centrifugeuse sous vide chauffante VTC-100PA-II, la centrifugeuse sous vide VTC-100, la centrifugeuse sous vide VTC-200, la centrifugeuse sous vide VTC-200PV, la centrifugeuse par pulvérisation VTC-200-4P et la centrifugeuse ultraviolette VTC-100PA-UV. Différents centrifugeuses peuvent être utilisées selon le procédé.