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Machine d'enduction à rotation aspirable et à atmosphère contrôlée
La coucheuse sous vide VTC-200PV convient au processus de semi-conducteurs, aux cristaux, aux disques optiques, à la fabrication de plaques et au revêtement de surface, etc. La chambre de la coucheuse sous vide VTC-200PV peut être mise sous vide pour enduire l'échantillon dans des conditions complètement sous vide, ce qui convient pour des matériaux de film qui s'oxydent facilement et se détériorent à l'air. Une pince est utilisée pour fixer l'échantillon lorsque la chambre est mise sous vide. L'équipement peut stocker 12 ensembles de programmes et chaque ensemble contient 6 étapes en cours d'exécution.
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