Nettoyeur plasma avec pompe à vide

La chambre à plasma du petit nettoyeur plasma PCE-6 est une chambre à quartz de Ø160 mm × 190 mm. La puissance RF utilisée est de 3,0 MHz (1 %) et la puissance de sortie est réglable sur trois niveaux : 7,2 W, 10,2 W et 29,6 W. Cette machine élimine principalement la couche d'oxyde et les contaminants sur les substrats par plasma d'air, d'oxygène ou d'argon et d'autres gaz, et peut également modifier les propriétés de la surface des objets (telles que l'hydrophilie et l'hydrophobie, etc.).

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