Nettoyeur plasma avec pompe à vide
La chambre à plasma du nettoyeur plasma compact PCE-6 est une chambre en quartz de Ø160 mm × 190 mm. La puissance RF utilisée est de 3,0 MHz (1 %) et la puissance de sortie est réglable sur trois niveaux : 7,2 W, 10,2 W et 29,6 W. Cet appareil élimine principalement la couche d’oxyde et les contaminants présents sur les substrats grâce à un plasma d’air, d’oxygène, d’argon ou d’autres gaz. Il peut également modifier les propriétés de surface des objets (hydrophilie, hydrophobie, etc.).
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation du produit
LeNettoyeur plasma compact PCE-6il comporte une chambre à plasma en quartz mesurant Ø160 mm × 190 mm et est équipé d'une alimentation RF fonctionnant à 3,0 MHz (±1%), avec trois niveaux de puissance de sortie réglables : 7,2 W, 10,2 W et 29,6 W.
Ce système utilise un plasma généré à partir de gaz tels que l'air, l'oxygène ou l'argon pour éliminer les oxydes et les contaminants des substrats, tout en modifiant leurs propriétés de surface (par exemple, leur caractère hydrophile ou hydrophobe). Il est idéal pour le nettoyage des substrats et le traitement des couches minces.
Le PCE-6 est compact et peu encombrant, ce qui le rend idéal pour les environnements de laboratoire. Il est équipé d'une pompe à vide rotative double permettant de vider la chambre tout en autorisant l'introduction de gaz comme l'argon, ce qui le rend particulièrement adapté au nettoyage de matériaux facilement oxydables.
Caractéristiques principales
1. Grâce aux boutons et interrupteurs du panneau de commande, la puissance RF, l'ouverture et la fermeture de la pompe à vide et le temps de nettoyage peuvent être contrôlés et réglés.
2. L'heure, la puissance, le degré de vide et d'autres informations sont affichés sur un groupe de 4 tubes numériques.
3. Équipé d'une vanne à trois voies permettant de contrôler précisément le débit d'air d'admission et de nettoyer la chambre à l'air ambiant. L'interface d'admission est un connecteur à manchon de 6 mm.
4. Un équipement d'alimentation RF de grande puissance est choisi pour effectuer des expériences de gravure et de calcination au plasma.
TParamètres techniques
Nom du produit | Nettoyeur plasma compact PCE-6 |
Modèle de produit | PCE-6 |
Paramètres principaux (Spécification) | 1. Alimentation : AC220V 50/60Hz 2. Puissance de sortie : 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Puissance de la pompe à vide : < 500 W 4. Puissance totale : < 600 W 5. Fréquence RF : 3,0 MHz, puissance réglable manuellement sur 3 niveaux. 6. Chambre à plasma : chambre en quartz de haute pureté de Ø160 mm × 190 mm, scellée par une bride repliée en aluminium munie d’une fenêtre d’observation de Ø45 mm sur la bride. 7. Pompe à vide : pompe à vide rotative à double étage à connexion directe, 120 L/min 8. Vide ultime : 50 mtorr 9. Introduction de gaz : Différents gaz peuvent être introduits pour générer du plasma, tels que N₂.2, Ar, H2, O2, air et mélanges gazeux (sélectionnés en fonction des propriétés des matériaux) pour le nettoyage et la gravure |
Dimensions et poids du produit | Dimensions : 400 mm × 300 mm × 300 mm DANShuit:10,2 kg |
Accessoires en option
| Non. | Nom | Catégorie de fonction | Image |
| 1 | 2"-6" Bateau/support en quartz (pour contenir le substrat) | Facultatif | - |
| 2 | Système de mélange de gaz à protons ou à flotteur à 2-4 canaux | Facultatif | - |
Garantie
Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (hors pièces rouillées dues à des conditions de stockage inadéquates).
Logistique
