Nettoyeur plasma avec pompe à vide
brand Shenyang Kejing
Origine des produits Shenyang, Chine
Le délai de livraison 10 jours ouvrables
La capacité dapprovisionnement 50 ensembles
La chambre à plasma du petit nettoyeur à plasma PCE-6 est une chambre à quartz de Ø160mm×190mm. La puissance RF utilisée est de 3,0 MHz (1 %) et la puissance de sortie est réglable sur trois niveaux : 7,2 W, 10,2 W et 29,6 W. Cette machine élimine principalement la couche d'oxyde et les contaminants sur les substrats par plasma d'air, d'oxygène ou d'argon et d'autres gaz, et peut également modifier les propriétés de la surface des objets (telles que l'hydrophilie et l'hydrophobicité, etc.).
Caractéristiques principales
1. Grâce aux boutons et interrupteurs du panneau de commande, la puissance RF, l'ouverture et la fermeture de la pompe à vide et le temps de nettoyage peuvent être contrôlés et ajustés.
2. L'heure, la puissance, le degré de vide et d'autres informations sont affichés sur un groupe de 4 tubes numériques.
3. Équipé d'une vanne à trois voies, qui peut contrôler avec précision le débit d'air d'admission et nettoyer la chambre avec de l'air atmosphérique. L'interface d'admission est une interface de manchon de carte de 6 mm.
4. Un équipement d'alimentation RF de grande puissance est choisi pour effectuer des expériences de gravure au plasma et d'incinération.
JParamètres techniques
Nom du produit | Petit nettoyeur plasma PCE-6 |
modèle du produit | PCE-6 |
Paramètres principaux (Spécification) | 1. Alimentation : AC220V 50/60Hz 2. Puissance de sortie : 7,2 W, 10,2 W, 29,6 W 3. Puissance de la pompe à vide : <500W 4. Puissance totale : <600W 5. Fréquence RF : 3,0 MHz, la puissance peut être ajustée manuellement sur 3 niveaux 6. Chambre à plasma : chambre en quartz de haute pureté de Ø160 mm × 190 mm, scellée avec une bride pliée en aluminium avec une fenêtre d'observation de Ø45 mm sur la bride 7. Pompe à vide : 120L/min, pompe à vide rotative à double étage à connexion directe 8. Vide ultime : 50mtorr 9. Introduction de gaz : divers gaz peuvent être introduits pour générer du plasma, tels que N2, Ar, H2, O2, Air et gaz mixtes (sélectionnés en fonction des propriétés du matériau) pour le nettoyage et le décapage |
Dimensions et poids du produit | Dimensions : 400 mm × 300 mm × 300 mm DANShuit:10,2 kg
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Accessoires optionnels | 1. 2"-6"Quartz Boat/Carrier (pour tenir le substrat) 2. Système de mélange de protons ou de gaz flottants à 2-4 canaux |
garantie
Limitée à un an avec assistance à vie (sans compter les pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates)
Logistique
