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Système de dépôt laser pulsé sphérique
Ce système est un équipement de recherche et développement pour le système de dépôt laser sphérique pulsé (PLD). La technologie de dépôt par laser pulsé est largement utilisée et peut être utilisée pour préparer des films minces de diverses substances telles que des métaux, des semi-conducteurs, des oxydes, des nitrures, des carbures, des borures, des siliciures, des sulfures et des fluorures. Il est même utilisé pour préparer certains films de matériaux difficiles à synthétiser, tels que les films de diamant et de nitrure cubique.
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