
Enrobeuse centrifuge anticorrosion (6 000 tr/min et plaquette de 6 po max.)
L'enrobeuse centrifuge sous vide VTC-200P est adaptée aux procédés de fabrication de semi-conducteurs, de cristaux, de disques optiques, de plaques et de revêtements de surface, etc. L'équipement peut stocker 12 programmes, chacun comportant 6 étapes d'exécution. Le couvercle supérieur de la chambre permet de chauffer l'échantillon (fonction optionnelle), ce qui est avantageux pour le revêtement de matériaux en couches minces à haute viscosité.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation du produit
L'enrobeuse centrifuge sous vide VTC-200P est conçue pour les procédés de revêtement de surface des semi-conducteurs, des cristaux, des disques optiques, de la lithographie et des applications connexes. Elle est adaptée à la préparation de revêtements utilisant des solutions fortement acides ou fortement alcalines.
La chambre elle-même ne peut pas être vidée ; en fonctionnement, l'échantillon est fixé sur le porte-substrat par adsorption par mandrin à vide. Le système peut enregistrer jusqu'à 12 programmes, chacun contenant 6 étapes séquentielles. Différentes vitesses de rotation peuvent être réglées pour chaque étape, permettant à l'enrobeuse d'atteindre progressivement sa vitesse maximale. Cela garantit la formation d'une fine couche uniforme à la surface de l'échantillon tout en minimisant le gaspillage de matériau.
Le couvercle supérieur de la chambre peut être équipé en option d'une fonction de chauffage, ce qui facilite le revêtement de matériaux de film hautement visqueux.
Avec des avantages tels qu'une utilisation facile, un nettoyage pratique et une conception compacte, le revêtement centrifuge sous vide VTC-200P est largement utilisé dans les laboratoires des universités et des instituts de recherche pour la préparation de couches minces.
Caractéristiques principales
1. L'équipement peut stocker 12 programmes, chacun comportant 6 phases. La plage de réglage des accélérations et décélérations pour chaque phase est de 100 à 2000 tr/min/s, et la durée de chaque phase est de 0 à 60 s.
2. L'échantillon est fixé au moyen d'une adsorption sous vide, ce qui est facile à utiliser.
3. Le degré de vide peut atteindre -0,08 MPa.
4. Les échantillons peuvent être facilement centrés à l'aide de l'outil de positionnement pour réduire les vibrations ou les projections causées par un mauvais alignement.
5. Différents mandrins peuvent être utilisés selon les spécifications de l'échantillon, et le remplacement est pratique et simple.
6. Un moteur à courant continu sans balais 24 V est adopté et il présente les avantages d'une fiabilité élevée, d'une forte adaptabilité, d'une réparation et d'un entretien simples, d'un faible bruit, de faibles vibrations, d'un fonctionnement stable, d'un démarrage rapide et stable, d'un fonctionnement stable après accélération, pour assurer la cohérence et l'uniformité de l'épaisseur du revêtement.
7. Cette machine peut être utilisée dans une boîte à gants, mais la partie de commande et la pompe à vide doivent être placées à l'extérieur de la boîte.
8. Le revêtement peut être réalisé dans une atmosphère de gaz inerte (tel que Ar, N2).
9. La pompe à vide à barres parallèles sans huile présente les avantages d'une petite taille, d'une structure simple, d'une utilisation facile, d'un entretien pratique et d'aucune pollution de l'environnement.
10. La chambre est fabriquée en matériau PP avec une durée de vie plus longue pour améliorer les capacités de résistance à la corrosion chimique et une excellente fissure sous contrainte, et le corps de la machine adopte une structure en aluminium moulé, qui est durable et légère.
11. Système d'exploitation anglais
12. Elle est dotée d'une fonction de protection en cas d'ouverture du capot. Lorsque le capot supérieur est ouvert pendant ou après le processus d'enduction, la machine ralentit immédiatement et rapidement jusqu'à l'arrêt complet.
13. Le contrôleur adopte un boîtier de commande unique avec affichage numérique LCD, qui est plus intuitif et fiable.
TParamètres techniques
Nom du produit | Enrobeuse centrifuge sous vide VTC-200P | |
Modèle de produit | VTC-200P | |
Conditions d'installation | 1. Température et humidité : 10–85 % HR (à 25 ℃, sans condensation) ; Température : 0–45 ℃. 2. Environnement : Aucune source de vibrations fortes ni de gaz corrosifs à proximité de l'équipement. 3. Eau : L'équipement est équipé d'une sortie de drainage. 4. Alimentation : monophasé AC220V, 50Hz10A. 5. Alimentation en air : Pompe à vide avec un débit de pompage ≥ 70 L/min. Le système peut également être raccordé à un gaz inerte protecteur. 6. Table de travail : taille recommandée 800 mm × 600 mm × 700 mm, capacité de charge ≥ 100 kg (une table en béton massif est préférable). 7. Ventilation : Aucune exigence particulière. | |
Paramètres principaux (Spécification) | 1. Interface d'alimentation : Prise d'alimentation à fusible : AC220V, 50Hz ; Spécification du fusible : 10A, φ5×20mm (personnalisation AC110V 50/60Hz disponible). 2. Puissance totale : ≤ 150 W (hors pompe à vide externe). 3. Chambre principale (matériau) : polypropylène. 4. Support de substrat (mandrin à vide) : mandrin à vide en polypropylène Ø100 mm × 1 (en PTFE lorsqu'il est équipé d'une fonction de chauffage). 5. Mode de fonctionnement : Capable de stocker 12 programmes, chacun avec 6 étapes séquentielles. 6. Vitesse d’essorage : 500 tr/min – 6 000 tr/min. 7. Taux d'accélération/décélération : Plage réglable par étape : 100 tr/min – 2 000 tr/min. 8. Temps de revêtement : Plage réglable par étape : 0 – 60 s. 9. Stabilité de la vitesse : ±1 %. 10. Système de contrôle : microcontrôleur PCB avec commande par clavier et écran LCD LMC. 11. Méthode de chauffage : Non inclus dans la configuration standard (fonction de chauffage en option disponible, avec un système de contrôle de température indépendant, non intégré au contrôleur principal). 12. Température de chauffage : Plage de température personnalisable, RT – 100℃ (limite supérieure). 13. Puissance de chauffage : AC220V, 1000W. 14. Précision du contrôle de la température : ±2℃. | |
15. Spécifications du produit : · Dimension : · Unité principale :φ250 mm × 360 mm · Boîtier de commande : 330 mm × 380 mm × 150 mm · Poids : 15 kg |
Saccessoires standard
Non. | nom | quantité | image |
1 | Mandrin à vide (φ100 mm) | 1 pièce | |
2 | joint torique | 1 pièce | - |
3 | Positionneur/localisateur central (comprenant 4 goujons de positionnement) | 1 pièce |
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4 | Injecteur/seringue époxy (20 ml) | 1 pièce |
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5 | Support d'injecteur/seringue | 1 pièce | - |
6 | Pompe à vide sans huile | 1 pièce |
LEAccessoires en option
Non. | nom | type fonctionnel | image |
1 | Mandrin à vide d'autres spécifications | (facultatif) | |
2 | Pipette (fabriquée en Chine) | (facultatif) | |
3 | Pipette (importée) | (facultatif) |
Garantie
· Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (hors pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates)
Logistique