Enrobeuse centrifuge haute vitesse (10 000 tr/min et 5 pouces max.) avec protection UV

Enrobeuse centrifuge haute vitesse (10 000 tr/min et 5 pouces max.) avec protection UV

Le dispositif de centrifugation UV VTC-100PA-UV est adapté aux procédés de semi-conducteurs, aux cristaux, aux disques optiques, à la fabrication de plaques et au revêtement de surface, etc. Son couvercle supérieur, équipé d'une source de lumière UV, est particulièrement adapté aux matériaux sensibles aux UV, permettant ainsi une solidification rapide du film de revêtement. De plus, la lampe UV possède une fonction de polymérisation permettant de polymériser le monomère en film polymère.

brand: Shenyang Kejing
Origine des produits: Shenyang, Chine
Le délai de livraison: 10 jours ouvrables
La capacité dapprovisionnement: 50 ensembles

information

Présentation du produit

Le Spin Coater VTC-100PA-UV (également connu sous le nom de coucheuse de photorésist, coucheuse rotative ou système de revêtement par rotation) est conçu pour des processus tels que la fabrication de semi-conducteurs, de cristaux, de disques optiques, de lithographie et de revêtement de surface.

La chambre est fabriquée en polypropylène, offrant une excellente résistance à la corrosion et une longue durée de vie. Elle est adaptée aux applications de revêtement impliquant des solutions acides et alcalines fortes. Le couvercle supérieur est équipé d'une fonction d'irradiation par lampe UV, ce qui le rend particulièrement adapté aux résines photosensibles. Il permet un durcissement rapide des résines photosensibles et favorise également la polymérisation, transformant les monomères en films polymères.

Un orifice d'injection de liquide est situé au centre du couvercle supérieur, muni d'un bouchon ; si une chambre étanche est requise, ce bouchon doit être inséré. La chambre est également dotée d'une entrée de gaz permettant l'introduction de gaz protecteur pendant le processus de centrifugation.

Les échantillons sont fixés par adsorption sous vide, ce qui simplifie l'utilisation et facilite le chargement/déchargement. Grâce à l'outil de centrage dédié, les échantillons sont placés avec précision au centre du mandrin, réduisant ainsi les vibrations excentriques et prévenant la casse des plaquettes. Différents mandrins peuvent être sélectionnés en fonction de la taille de l'échantillon, et leur remplacement est simple et pratique.

Le système est alimenté par un moteur à courant continu sans balais de précision, qui assure un démarrage rapide, une vitesse stable et garantit la cohérence et l'uniformité de l'épaisseur du revêtement.

Caractéristiques principales

1. L'échantillon est fixé au moyen d'une adsorption sous vide, ce qui est facile à utiliser et pratique pour prélever et placer des échantillons, qui peuvent être personnalisés selon les besoins.

2. Le couvercle supérieur adopte une source de lumière UV, dont l'intensité peut être ajustée dans une certaine plage.

3. Le trou d'injection est situé au centre du couvercle supérieur et est équipé d'un bouchon en caoutchouc, qui est appliqué lorsqu'un environnement étanche est requis pour la chambre.

4. L'orifice d'entrée de gaz dans la chambre est utilisé pour se connecter au gaz protecteur.

5. Le moteur et le système de contrôle de la lumière UV sont contrôlés indépendamment. Le système de régulation de la vitesse du moteur est piloté par un ordinateur monocarte et un écran LCD. L'affichage numérique est plus intuitif et fiable. La lumière UV est contrôlée par un automate programmable industriel (API) doté d'une protection anti-interférences renforcée.

6. La vitesse de revêtement de cette machine est de 500 à 1000 tr/min. 12 groupes de programmes peuvent être stockés, chaque groupe de programmes contient 6 étapes de fonctionnement et les paramètres de fonctionnement de chaque étape peuvent être définis indépendamment pour augmenter lentement la vitesse jusqu'à la limite, ce qui est propice à la formation d'un film uniforme sur la surface de l'échantillon et ne gaspillera pas trop.

7. Le dispositif de revêtement rotatif sous vide UV démarre rapidement et a une vitesse de rotation stable, ce qui peut garantir l'uniformité et la cohérence de l'épaisseur du film.

8. Dans la structure d'installation, des mesures d'absorption des chocs sont prises pour réduire le bruit pendant le fonctionnement.

9. La chambre est fabriquée en matériau PP avec une durée de vie plus longue pour améliorer les capacités de résistance à la corrosion chimique et une excellente fissure sous contrainte, et le corps de la machine adopte une structure en aluminium moulé, qui est durable et légère.

TParamètres techniques

Nom du produit	Enrobeuse centrifuge UV VTC-100PA-UV
Modèle de produit	VTC-100PA-UV
Conditions d'installation	1. Température et humidité : 10-85 % HR (à 25 ℃ sans condensation) Température : 0-45 ℃. 2. Il n’y a pas de source de vibrations fortes ni de gaz corrosif autour de l’équipement. 3. Eau : Pas besoin. 4. Électricité : Monophasé : AC220V 50Hz 10A . 5. Gaz : Pression négative sous vide (pompe à vide) Le débit d'air n'est pas inférieur à 70 L/min (l'équipement peut laisser passer un gaz inerte protecteur). 6. Établi : Il est recommandé d'avoir une dimension de 800 mm × 600 mm.mm×700 mm et supporte une charge de plus de 50 kg (une plate-forme en ciment solide est préférable). 7. Dispositif de ventilation : Aucune exigence particulière.
Les principaux paramètres	1. Interface d'alimentation : prise d'alimentation avec assurance : AC220V 50Hz, la spécification du tube d'assurance est de 10A, φ5×20mm (cet appareil prend en charge la personnalisation du produit AC110V 50/60Hz). 2. Puissance totale : ≤ 180 W (hors pompe à vide externe). 3. Revêtement de la cavité hôte (matériau) : polypropylène. 4. Plateau d'échantillons (ventouse) : ventouse en polypropylène Φ19 mm, Φ60 mm chacune. 5. Mode de fonctionnement : 12 ensembles de programmes peuvent être stockés, chaque ensemble de programmes contient 6 étapes de fonctionnement. 6. Vitesse de revêtement : 500 tr/min à 10 000 tr/min sont efficaces. 7. Taux d'accélération et de décélération : la plage de réglage de chaque taux d'accélération et de décélération est de 100 tr/min à 2 000 tr/min. 8. Temps de revêtement : Chaque plage de temps : 0-60 s. 9. Stabilité de la vitesse : ±1%. 10. Mode de contrôle de l'hôte : contrôle par clé de micro-ordinateur monopuce PCB, écran LCD LMC. 11. Méthode de durcissement : 16 perles de lumière LED violettes. 12. Temps de durcissement : plage de réglage du temps de lumière violette : 1 à 800 s. 13. Puissance de durcissement : plage de puissance de lumière violette : 5-30 W réglable. 14. Méthode de contrôle du durcissement : écran tactile (contrôle indépendant du système de lumière violette, non lié au contrôle de l'hôte).
	15. Spécifications du produit Dimensions : 450 × 280 × 340 mm Poids : 18 kg

Accessoires standards

Non.	Nom	Quantité	Lien vers l'image
1	Ventouse à vide (avec joint torique) (Ø19mm et Ø60mm)	2
2	Localisateur de centre	1
3	Pompe à vide sans huile	1

Accessoires en option

Non.	Nom	Catégorie fonctionnelle	Lien vers l'image
1	Autres tailles de ventouses	(Facultatif)
2	Pistolet à pipette domestique	(Facultatif)
3	Pipette importée	(Facultatif)