Enrobeuse centrifuge à grande vitesse avec couvercle chauffant à 100 °C

Enrobeuse centrifuge à grande vitesse avec couvercle chauffant à 100 °C

L'enrobeuse centrifuge sous vide VTC-100PA-I est adaptée aux procédés de fabrication de semi-conducteurs, de cristaux, de disques optiques, de plaques et de revêtements de surface, etc. Elle peut être utilisée avec des solutions de revêtement fortement acides et alcalines. L'équipement est équipé de deux mandrins à vide de tailles différentes (standard) adaptés à la taille de l'échantillon. L'équipement peut stocker 12 programmes, chacun comportant 6 étapes d'exécution.

brand: Shenyang Kejing
Origine des produits: Shenyang, Chine
Le délai de livraison: 10 jours ouvrables
La capacité dapprovisionnement: 50 ensembles

information

Présentation du produit
L'enrobeuse centrifuge sous vide VTC-100PA-I est conçue pour les procédés de revêtement de surface des semi-conducteurs, des cristaux, des disques optiques et la photolithographie. Elle convient à la préparation de revêtements à l'aide de solutions fortement acides ou alcalines. Le système est fourni en standard avec deux mandrins à vide de tailles différentes, permettant aux utilisateurs de choisir le mandrin adapté aux dimensions de l'échantillon.

Pendant le fonctionnement, l'échantillon est solidement fixé sur la platine porte-échantillons grâce à un mandrin à vide. Le VTC-100PA-I peut mémoriser jusqu'à 12 programmes, chacun comprenant 6 étapes séquentielles. La vitesse de rotation varie selon les étapes, permettant à l'appareil d'atteindre progressivement sa vitesse maximale. Cela garantit une formation uniforme de film mince à la surface de l'échantillon, minimise le gaspillage de matériau et améliore l'efficacité.

Le VTC-100PA-I se caractérise par sa simplicité d'utilisation, son nettoyage aisé et son design compact. Il est largement utilisé dans les laboratoires universitaires et les instituts de recherche pour les procédés de dépôt de couches minces.

Caractéristiques principales

1. L'échantillon est fixé au moyen d'une adsorption sous vide, ce qui est facile à utiliser.

2. Le degré de vide peut atteindre -0,08 MPa.

3. Les échantillons peuvent être facilement centrés à l'aide de l'outil de positionnement pour réduire les vibrations ou les projections causées par un mauvais alignement.

4. Différents mandrins peuvent être utilisés selon les spécifications de l'échantillon, et le remplacement est pratique et simple.

5. Un moteur à courant continu sans balais 24 V est adopté et il présente les avantages d'une fiabilité élevée, d'une forte adaptabilité, d'une réparation et d'un entretien simples, d'un faible bruit, de faibles vibrations, d'un fonctionnement stable, d'un démarrage rapide et stable, d'un fonctionnement stable après accélération, pour assurer la cohérence et l'uniformité de l'épaisseur du revêtement.

6. La pompe à vide à barres parallèles sans huile présente les avantages d'une petite taille, d'une structure simple, d'une utilisation facile, d'un entretien pratique et d'aucune pollution de l'environnement.

7. La chambre est fabriquée en polypropylène avec une durée de vie plus longue pour améliorer les capacités de résistance à la corrosion chimique et une excellente fissuration sous contrainte, et le corps de la machine adopte une structure en aluminium moulé, qui est durable et légère.

8. Le revêtement peut être réalisé dans une atmosphère de gaz inerte (tel que Ar, N2).

9. Système d'exploitation anglais

10. Elle est dotée d'une fonction de protection en cas d'ouverture du capot. Lorsque le capot supérieur est ouvert pendant ou à la fin du processus de revêtement, la machine ralentit immédiatement et rapidement jusqu'à l'arrêt complet.

11. L'interface de contrôle adopte un écran tactile et un système de contrôle par ordinateur monocarte, et l'affichage numérique est plus intuitif et fiable.

TParamètres techniques

Nom du produit	Enrobeuse centrifuge sous vide VTC-100PA-I
Modèle de produit	VTC-100PA-I
Conditions d'installation	1. Température et humidité : 10–85 % HR (à 25 °C, sans condensation) ; température de fonctionnement : 0–45 °C. 2. Environnement : exempt de fortes sources de vibrations et de gaz corrosifs. 3. Eau : Equipé d'une sortie de drainage. 4. Alimentation : monophasé AC220V 50Hz 10A. 5. Gaz : Vide (pression négative) avec une vitesse de pompage ≥ 70 L/min ; le système peut également être connecté à des gaz inertes protecteurs (par exemple Ar, N₂). 6. Établi : taille recommandée 800 mm × 600 mm × 700 mm, capacité de charge ≥ 50 kg (table en béton massif préférée). 7. Ventilation : Aucune exigence particulière.
Paramètres principaux (Spécification)	1. Interface d'alimentation : · Unité principale : CA 220 V 50 Hz 10 A · Chauffage : AC 220 V 50 Hz 10 A 2. Consommation électrique totale : ≤ 1 150 W (hors pompe à vide externe) 3. Chambre de revêtement (matériau) : polypropylène 4. Porte-échantillon (mandrin à vide) : mandrins à vide en PTFE, Ø19 mm et Ø60 mm (un de chaque) 5. Mode de fonctionnement : Jusqu'à 12 recettes programmables ; chaque recette comprend 6 étapes séquentielles 6. Plage de vitesse d'essorage : 500 à 10 000 tr/min (effectif) 7. Taux d'accélération/décélération : réglable de 100 tr/min à 2 000 tr/min par étape 8. Temps de revêtement : 0 à 60 secondes par étape 9. Stabilité de la vitesse : ±1 % 10. Système de contrôle : microcontrôleur PCB avec commande par clavier et écran LCD LMC 11. Méthode de chauffage : Système de tube chauffant indépendant en fibre de carbone (séparé de la commande de l'unité principale) 12. Plage de température de chauffage : de la température ambiante à 100 °C 13. Puissance de chauffage : AC220V, 1000W 14. Précision du contrôle de la température : ± 2 °C
	15. Spécifications du produit : · Dimensions : 450 mm × 340 mm × 280 mm · Poids : 20 kg

Saccessoires standard

Non.	nom	quantité	image
1	Mandrin à vide (avec joint torique) (Ø19mm etØ60mm)	2 pièces
2	Positionneur/localisateur central (comprenant 4 goujons de positionnement)	1 pièce
3	Injecteur/seringue époxy (20 ml)	1 pièce
4	Support d'injecteur/seringue	1 pièce	-
5	Pompe à vide sans huile	1 pièce
6	Tuyau en caoutchouc (avec collier de serrage)	1 pièce	-

LEAccessoires en option

Non.	nom	type fonctionnel	image
1	Mandrins à vide d'autres spécifications	(facultatif)
2	Pipette (fabriquée en Chine)	(facultatif)
3	Pipette (importée)	(facultatif)