Enrobeuse centrifuge à grande vitesse avec couvercle chauffant à 200 °C
L'enrobeuse centrifuge sous vide VTC-100PA-II est adaptée aux procédés de fabrication de semi-conducteurs, de cristaux, de disques optiques, de plaques et de revêtements de surface, etc. Elle peut être utilisée avec des solutions de revêtement fortement acides et alcalines. L'équipement est équipé de deux mandrins à vide de tailles différentes (standard) adaptés à la taille de l'échantillon. L'équipement peut stocker 12 jeux de programmes, chacun comportant 6 étapes d'exécution.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation du produit
L'enrobeuse centrifuge sous vide chauffée VTC-100PA-II est conçue pour les procédés de revêtement de surface des semi-conducteurs, des cristaux, des disques optiques, de la photolithographie et des applications connexes. Elle permet de préparer des revêtements à partir de solutions acides et alcalines fortes.
Le système est équipé de deux mandrins à vide de tailles différentes, permettant aux utilisateurs de sélectionner le mandrin approprié en fonction des dimensions de l'échantillon. Pendant le fonctionnement, l'échantillon est solidement fixé sur le support par aspiration. L'enrobeuse prend en charge jusqu'à 12 recettes programmables, chacune comprenant 6 étapes séquentielles. À chaque étape, la vitesse de rotation est réglable indépendamment, permettant au système d'accélérer progressivement jusqu'à la vitesse maximale. Cela garantit une formation uniforme de film mince sur la surface de l'échantillon, tout en minimisant le gaspillage de matériau et en améliorant l'efficacité.
Le dispositif d'enduction centrifuge sous vide chauffé VTC-100PA-II présente un fonctionnement convivial, un nettoyage facile et une conception compacte, ce qui en fait un choix idéal pour les laboratoires des universités et des instituts de recherche engagés dans la préparation de films minces.
Caractéristiques principales
1. L'échantillon est fixé au moyen d'une adsorption sous vide, ce qui est facile à utiliser.
2. Le degré de vide peut atteindre -0,08 MPa.
3. Les échantillons peuvent être facilement centrés à l'aide de l'outil de positionnement pour réduire les vibrations ou les projections causées par un mauvais alignement.
4. Différents mandrins peuvent être utilisés selon les spécifications de l'échantillon, et le remplacement est pratique et simple.
5. Un moteur à courant continu sans balais 24 V est adopté et il présente les avantages d'une fiabilité élevée, d'une forte adaptabilité, d'une réparation et d'un entretien simples, d'un faible bruit, de faibles vibrations, d'un fonctionnement stable, d'un démarrage rapide et stable, d'un fonctionnement stable après accélération, pour assurer la cohérence et l'uniformité de l'épaisseur du revêtement.
6. La pompe à vide à barres parallèles sans huile présente les avantages d'une petite taille, d'une structure simple, d'une utilisation facile, d'un entretien pratique et d'aucune pollution de l'environnement.
7. La chambre est fabriquée en polypropylène avec une durée de vie plus longue pour améliorer les capacités de résistance à la corrosion chimique et une excellente fissuration sous contrainte, et le corps de la machine adopte une structure en aluminium moulé, qui est durable et légère.
8. Le revêtement peut être réalisé dans une atmosphère de gaz inerte (tel que Ar, N2).
9. Système d'exploitation anglais
10. Elle est dotée d'une fonction de protection en cas d'ouverture du capot. Lorsque le capot supérieur est ouvert pendant ou à la fin du processus de revêtement, la machine ralentit immédiatement et rapidement jusqu'à l'arrêt complet.
11. L'interface de contrôle adopte un écran tactile et un système de contrôle par ordinateur monocarte, et l'affichage numérique est plus intuitif et fiable.
TParamètres techniques
Nom du produit | Enrobeuse centrifuge sous vide VTC-100PA-II avec fonction de chauffage | |
Modèle de produit | VTC-100PA-II | |
Conditions d'installation | 1. Température et humidité : 10–85 % HR (à 25 °C, sans condensation) ; température de fonctionnement : 0–45 °C. 2. Environnement : exempt de fortes sources de vibrations et de gaz corrosifs. 3. Alimentation en eau : Equipé d'une sortie d'eaux usées. 4. Alimentation : monophasé AC220V, 50Hz, 10A. 5. Alimentation en gaz : Pompe à vide à dépression avec débit de pompage ≥ 70 l/min. Le système peut également être purgé avec des gaz inertes protecteurs tels que l'argon ou le nitrogène. 6. Établi : taille recommandée 800 mm × 600 mm × 700 mm, avec une capacité de charge ≥ 50 kg (banc en ciment massif préféré). 7. Ventilation : Aucune exigence particulière. | |
Paramètres principaux (spécification) | 1. Interface d'alimentation : Unité principale : 220 V CA 50 Hz 10 A ; Chauffage : 220 V CA 50 Hz 10 A 2. Puissance totale : ≤ 1150 W (hors pompe à vide externe) 3. Chambre de revêtement (matériau) : PTFE 4. Porte-échantillon (mandrin à vide) : mandrins en PTFE Φ19 mm et Φ60 mm, un de chaque 5. Mode de fonctionnement : Jusqu'à 12 programmes mémorisables ; chaque programme contient 6 étapes de fonctionnement 6. Vitesse d'essorage : 500 tr/min – 10 000 tr/min (effectif) 7. Taux d'accélération/décélération : Plage réglable par étape : 100 tr/min – 2 000 tr/min 8. Temps d'essorage : Plage réglable par étape : 0 – 60 s 9. Stabilité de la vitesse : ±1% 10. Système de contrôle : microcontrôleur PCB, commande par clavier, écran LCD LMC 11. Méthode de chauffage : Tube chauffant en fibre de carbone avec système de contrôle de température indépendant, non lié à la commande de l'unité principale 12. Température de chauffage : Température ambiante – 200℃ 13. Puissance de chauffage : AC220V 1000W 14. Précision du contrôle de la température : ±2℃ | |
15. Spécifications du produit : · Dimensions : 450 mm × 340 mm × 280 mm · Poids : 20 kg |
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Saccessoires standard
Non. | nom | quantité | image |
1 | Mandrin à vide (avec joint torique) (Ø19mm etØ60mm) | 2 pièces | |
2 | Positionneur/localisateur central (comprenant 4 goujons de positionnement) | 1 pièce |
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3 | Injecteur/seringue époxy (20 ml) | 1 pièce | |
4 | Support d'injecteur/seringue | 1 pièce | - |
5 | Pompe à vide sans huile | 1 pièce | |
6 | Tuyau en caoutchouc (avec collier de serrage) | 1 pièce | - |
LEAccessoires en option
Non. | nom | type fonctionnel | image |
1 | Mandrins à vide d'autres spécifications | (facultatif) | |
2 | Pipette (fabriquée en Chine) | (facultatif) | |
3 | Pipette (importée) | (facultatif) |
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Garantie
Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (hors pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates)
Logistique
