Nettoyeur plasma avec alimentation RF haute puissance
Le nettoyeur plasma compact PCE-6V intègre la génération de plasma RF, le contrôle informatique et la programmation logicielle. Utilisant un gaz comme fluide de nettoyage, il évite efficacement toute contamination secondaire liée à l'utilisation de liquides. La platine porte-échantillon du PCE-6V peut être équipée d'une fonction chauffante et une tension de polarisation négative peut être appliquée pour la gravure plasma de l'échantillon. De plus, il permet de modifier les propriétés de certaines surfaces de matériaux dans des conditions spécifiques.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Caractéristiques principales
1. L'utilisation de gaz comme agent de nettoyage évite la contamination secondaire causée par l'agent de nettoyage liquide.
2. Les polluants organiques peuvent être éliminés en profondeur et en peu de temps.
3. Le degré de nettoyage peut atteindre le niveau moléculaire.
4. Les propriétés de certaines surfaces de matériaux peuvent être modifiées selon les besoins dans des conditions spécifiques.
5. La décharge lumineuse dans le processus de nettoyage peut améliorer l'adhérence, la compatibilité et la mouillabilité de certains matériaux à usage spécifique, et peut désinfecter et stériliser.
6. Le porte-échantillon peut être équipé d'une fonction de chauffage, et une polarisation négative peut être ajoutée pour la gravure plasma.
7. Largement utilisé en optique, photoélectronique/optoélectronique, électronique, science des matériaux, sciences de la vie, science des polymères, biomédecine, microfluidique et autres domaines
Paramètres techniques
Nom du produit | Nettoyeur plasma compact PCE-6V | |
Modèle de produit | PCE-6V | |
Paramètres principaux (Spécification) | 1. Tension : 220 V CA, 10 A 2. Consommation électrique : < 500 W (pompe à vide incluse) 3. Alimentation RF : puissance de sortie 100 W, fréquence de sortie 13,56 MHz 4. Chambre : Ø190 mm × 98 mm 5. Tube en quartz : Ø180 mm × 55 mm, épaisseur de paroi 7 mm 6. Chambre intérieure : Ø165 mm × 55 mm 7. Électrode de nettoyage : Ø120 mm 8. Platine d'échantillon : Ø150 mm, taille utile Ø140 mm 9. Distance entre le porte-échantillon et l'électrode : réglable de 15 mm à 50 mm 10. Tuyau d'échappement : Ø12 mm 11. Degré de vide ultime : 0,1 Pa 12. Degré de vide de fonctionnement : 60 Pa à 500 Pa 13. Nombre de canaux d'air : 2 (en option) 14. Nombre de régulateurs de débit : 1, 2 15. Indicateur de débit : 2 canaux 16. Interface pneumatique : Ø6 mm 17. Platine porte-échantillon chauffante : Ø100 mm, température de chauffage de l'échantillon 200℃-500℃ (en option) 18. Pression de l'eau de refroidissement : 0,2 kPa à 0,4 kPa 19. Environnement de travail : température 5℃-35℃, humidité <80 % (humidité relative) sans condensation. | |
Dimensions et poids du produit | Dimensions : 245 mm × 235 mm × 460 mm (pompe à vide exclue) Poids : 20 kg (sans pompe à vide) |
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Accessoires en option
| Non. | Nom | Catégorie de fonction | Image |
| 1 | Étage d'échantillon chauffant | Facultatif | - |
| 2 | Contrôleur de débit (plage 10, 50, 100, nombre de canaux pouvant être ajoutés ≤ 2) | Facultatif | - |
Garantie
Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (hors pièces rouillées dues à des conditions de stockage inadéquates).
Logistique
