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Nettoyeur plasma avec alimentation RF élevée

brand Shenyang Kejing

Origine des produits Shenyang, Chine

Le délai de livraison 10 jours ouvrables

La capacité dapprovisionnement 50 ensembles

Le petit nettoyeur plasma PCE-6V intègre la technologie de génération de plasma RF, la technologie de contrôle informatique et la technologie de programmation logicielle, et utilise le gaz comme moyen de nettoyage, ce qui évite efficacement la contamination secondaire causée par le milieu de nettoyage liquide. La platine d'échantillonnage du petit nettoyeur plasma PCE-6V peut être équipée d'une fonction de chauffage et une tension de polarisation négative peut être appliquée pour la gravure plasma de l'échantillon. De plus, il peut modifier les propriétés de certaines surfaces de matériaux selon les besoins dans des conditions spécifiques.

Nettoyeur plasma avec alimentation RF élevée

Caractéristiques principales

1. L'utilisation de gaz comme agent de nettoyage évite la contamination secondaire causée par le produit de nettoyage liquide.

2. Les polluants organiques peuvent être soigneusement nettoyés en peu de temps.

3. Le degré de nettoyage peut atteindre le niveau moléculaire.

4. Les propriétés de certaines surfaces de matériaux peuvent être modifiées selon les besoins dans des conditions spécifiques.

5. La décharge luminescente lors du processus de nettoyage peut améliorer l'adhérence, la compatibilité et la mouillabilité de certains matériaux à usage spécial, et peut désinfecter et stériliser.

6. La platine d'échantillonnage peut être équipée d'une fonction de chauffage et une polarisation négative peut être ajoutée pour la gravure au plasma.

7. Largement utilisé dans l'optique, la photoélectronique/optoélectronique, l'électronique, la science des matériaux, les sciences de la vie, la science des polymères, la biomédecine, la microfluidique et d'autres domaines



TParamètres techniques

Nom du produit

Petit nettoyeur plasma PCE-6V

modèle du produit

PCE-6V

Paramètres principaux

(Spécification)

1. Tension : AC220 V 10 A.

2. Consommation électrique : <500 W (y compris la pompe à vide)

3. Alimentation RF : puissance de sortie 100 W, fréquence de sortie 13,56 MHz.

4. Chambre : Ø190mm×98mm

5. Tube de quartz : Ø180mm×55mm, épaisseur de paroi 7mm

6. Chambre intérieure : Ø165mm×55mm

7. Électrode de nettoyage : Ø120mm

8. Étape d'échantillonnage : Ø150 mm, taille effective Ø140 mm

9. La distance entre la platine d'échantillonnage et l'électrode : 15 mm-50 mm réglable

10. Tuyau d'échappement : Ø12mm

11. Degré de vide ultime : 0,1 Pa

12. Degré de vide de travail : 60Pa-500Pa

13. Nombre de canaux d'air : 2 (en option)

14. Nombre de contrôleurs de débit : 1, 2

15. Indicateur de débit : 2 canaux

16. Interface pneumatique : Ø6mm

17. Étape d'échantillonnage de chauffage : Ø100 mm, température de l'échantillon de chauffage 200 ℃ - 500 ℃ (en option)

18. Pression de l'eau de refroidissement : 0,2 kPa-0,4 kPa

19. Environnement de travail : température 5℃-35℃, humidité <80 % (humidité relative) sans condensation, altitude 0-2000 m


Dimension et poids du produit

dimension : 245 mm × 235 mm × 460 mm (hors pompe à vide)

Poids : 20kg (sans pompe à vide)

plasma cleaner

Accessoires optionnels    

1. Étape d'échantillonnage de chauffage

2. Contrôleur de débit (plage 10, 50, 100, le nombre de canaux peut être ajouté ≤ 2)



garantie

    Limité à un an avec assistance à vie (sans compter les pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates)



Logistique

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