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Machine d'enduction à rotation aspirable et à atmosphère contrôlée
La coucheuse sous vide VTC-200PV convient au processus de semi-conducteurs, aux cristaux, aux disques optiques, à la fabrication de plaques et au revêtement de surface, etc. La chambre de la coucheuse sous vide VTC-200PV peut être mise sous vide pour enduire l'échantillon dans des conditions complètement sous vide, ce qui convient pour des matériaux de film qui s'oxydent facilement et se détériorent à l'air. Une pince est utilisée pour fixer l'échantillon lorsque la chambre est mise sous vide. L'équipement peut stocker 12 ensembles de programmes et chaque ensemble contient 6 étapes en cours d'exécution.
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Machine d'enduction par rotation ultra-rapide de 10 000 tr/min
La VTC-100PAX Vacuum Spin Coater est une machine de nivellement de colle de précision haute performance. Il adopte un concept de conception avancé et coopère avec un système de contrôle de mouvement précis pour une opération de distribution de colle de haute précision et de haute uniformité. 6 groupes de programmes peuvent être stockés, chaque programme peut atteindre 9 étapes. Tous les paramètres de fonctionnement peuvent être facilement réglés sur l'appareil, tels que la vitesse, l'accélération, le temps de rotation, etc.
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Machine d'enduction par rotation ultra-rapide de 20 000 tr/min
La machine d'enduction sous vide VTC-100PAH convient au processus de semi-conducteurs, aux cristaux, aux disques optiques, à la fabrication de plaques et au revêtement de surface, etc. L'échantillon est fixé au moyen d'adsorption sous vide afin que les échantillons puissent être prélevés et placés librement. Le moteur démarre rapidement et de manière stable, ce qui peut garantir la cohérence et l'uniformité de l'épaisseur du revêtement.
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Machine d'enduction rotative sans vide de bureau à utiliser dans une boîte à gants
VTC-50A-DC Spin Coater adopte des systèmes d'alimentation indépendants pour la partie moteur et la partie commande, et le système de contrôle de vitesse adopte un micro-ordinateur monopuce avec une anti-interférence élevée pour contrôler, de sorte que la vitesse de rotation soit très élevée et stable dans la plage. de 1000 à 8000 tr/min. La coucheuse comporte deux étapes pendant son fonctionnement, à savoir l'étape T1 à basse vitesse et l'étape T2 à haute vitesse.
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Machine d'enduction à rotation haute vitesse (10 000 tr/min et 5 pouces maximum) à utiliser dans une boîte à gants
La machine d'enduction sous vide VTC-100PA-DC est équipée de 3 mandrins à vide (pour standard) de différentes tailles, et différents mandrins à vide peuvent être utilisés en fonction de la taille des échantillons. Pendant le travail, la coucheuse sous vide VTC-100-DC utilise la méthode d'adsorption sur plaque sous vide pour fixer l'échantillon sur la plaque d'échantillon. L'équipement utilise un programme en deux étapes pour contrôler la vitesse.
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Machine de revêtement Spin-Spray (2000 tr/min et 6" max) avec couvercle chauffant
La coucheuse rotative à pulvérisation chauffante infrarouge VTC-200-4P (niveleur de colle, développeur, fileuse de colle, coucheuse rotative) avec fonction de chauffage du couvercle supérieur, est principalement utilisée pour le développement de graphiques et de revêtements de surface dans la technologie de fabrication de semi-conducteurs et de plaques. Après le processus de nivellement ou de développement de la colle, le solvant présent dans le film colloïdal s'évapore jusqu'à atteindre sa teneur la plus faible. Pendant le processus de travail, le liquide de développement ou le colloïde est pulvérisé sur l'échantillon sous forme de brouillard, de sorte que la solution soit uniformément répartie sur la surface de l'échantillon, ce qui favorise le bon fonctionnement du film et du processus de développement.
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Spin Coater anticorrosion (6 000 tr/min et plaquette de 6" max.) -
La machine d'enduction sous vide VTC-200P convient au processus de semi-conducteurs, aux cristaux, aux disques optiques, à la fabrication de plaques et au revêtement de surface, etc. L'équipement peut stocker 12 ensembles de programmes et chaque ensemble contient 6 étapes en cours d'exécution. Le couvercle supérieur de la chambre peut chauffer l'échantillon (fonction facultative), ce qui est bénéfique pour le processus de revêtement de matériaux en couches minces à haute viscosité.
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