Machine de revêtement par pulvérisation plasma magnétron sous vide poussé à double tête

modèle du produit

VTC-600-2HD

Conditions d'installation

Cet équipement doit être utilisé à une altitude de 1 000 m ou moins, une température de 25 ℃ ± 15 ℃ et une humidité de 55 % RH ± 10 % RH.

1. Eau : L'équipement est équipé d'un refroidisseur d'eau à circulation automatique (remplissage d'eau pure ou d'eau déionisée)

2. Électricité : AC220V 50Hz, doit avoir une bonne mise à la terre

3. gaz : La chambre de l'équipement doit être remplie de gaz argon (pureté 99,99 % ou plus), et des bouteilles de gaz argon (avec joints à double virole Ø6 mm) et un réducteur de pression doivent être fournis par les utilisateurs.

4. Établi : taille 1500 mm × 600 mm × 700 mm, supportant plus de 200 kg

5. Dispositif de ventilation : nécessaire

Paramètres majeurs

(Spécification)

1. Tension d'alimentation : 220 V 50 Hz.

2. Puissance : 900 W

3. Diamètre intérieur de la chambre : Ø300mm

4. Limite du degré de vide : 9,0 × 10-4 Pa

5. Température de chauffage de l'étage d'échantillonnage : RT-500℃, précision ±1℃ (la température peut être augmentée en fonction des besoins réels.)

6. Nombre de pistolets cibles : 2 pièces (autres quantités en option)

7. Méthode de refroidissement du pistolet cible : refroidissement par eau

8. Taille du matériau cible : Ø2″, épaisseur 0,1-5 mm (différentes épaisseurs dues aux différents matériaux cibles)

9. Puissance de pulvérisation CC : 500 W ; Puissance de pulvérisation RF : 300 W (le type d'alimentation cible est facultatif, en choisissant deux alimentations CC ou deux alimentations RF, ou une alimentation CC plus une alimentation RF.)

10. Étape d'échantillonnage : Ø140 mm, une fonction de tension de polarisation en option peut être installée selon les exigences du client pour obtenir une qualité de revêtement supérieure.

11. Vitesse de l'étape d'échantillonnage : réglable entre 1 et 20 tr/min

12. Gaz de travail : Ar et autres gaz inertes

13. Voie d'admission d'air : le débitmètre massique contrôle 2 voies d'admission d'air, l'une est de 100 SCCM et l'autre de 200 SCCM.

Dimension et poids du produit

1. dimension principale de la machine : 500 mm × 560 mm × 660 mm

2. Dimension hors tout : 1300 mm × 660 mm × 1200 mm

3. Dimension de la chambre à vide : φ300×300mm

4. Poids : 160 kg

accessoires standards

1. Système de contrôle de puissance CC : 1 jeu

2. Système de contrôle de puissance RF : 1 jeu

3. Système de surveillance de l'épaisseur du film : 1 jeu

4. Pompe moléculaire (importée d'Allemagne) : 1 pièce

5. Refroidisseur d'eau : 1 pièce.

6.Tuyau polyester PU (Ø6mm) : 4m

Accessoires optionnels

Divers matériaux cibles tels que l'or, l'indium, l'argent, le platine, etc.