Machine de pulvérisation par pulvérisation plasma avec 3 sources de pulvérisation
La coucheuse de pulvérisation magnétron à trois têtes VTC-600-3HD est un équipement de revêtement nouvellement développé par notre société et est utilisée pour préparer un film ferroélectrique monocouche ou multicouche, un film conducteur, un film en alliage, un film semi-conducteur, des films céramiques, un film diélectrique. , film optique, film d'oxyde, film dur, film PTFE, etc. La coucheuse par pulvérisation magnétron à trois têtes VTC-600-3HD est équipée de trois pistolets cibles, d'une alimentation RF pour le revêtement par pulvérisation cathodique de matériaux non conducteurs et de deux alimentations CC. fournitures pour le revêtement par pulvérisation cathodique de matériaux conducteurs.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 22 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Caractéristiques principales
1. Il est équipé de trois pistolets cibles, une alimentation RF est utilisée pour le revêtement par pulvérisation cathodique de matériaux non conducteurs et deux alimentations CC sont utilisées pour le revêtement par pulvérisation cathodique de matériaux conducteurs (le pistolet cible peut être échangé selon les besoins du client) .
2. Une variété de films minces peuvent être préparés avec une large gamme d'applications.
3. Petite taille et facile à utiliser
4. Conception modulaire de la machine entière ; conception séparée/de type divisé de la chambre à vide, du groupe de pompes à vide et de l'alimentation électrique de contrôle, qui peuvent être ajustées en fonction des besoins réels des utilisateurs.
5. L'alimentation électrique peut être sélectionnée en fonction des besoins réels de l'utilisateur. Une alimentation peut contrôler plusieurs pistolets cibles, ou plusieurs sources d'alimentation peuvent contrôler un seul pistolet cible.
TParamètres techniques
Nom du produit | Machine de pulvérisation magnétron à trois têtes VTC-600-3HD |
modèle du produit | VTC-600-3HD |
Conditions d'installation | Cet équipement doit être utilisé à une altitude de 1 000 m ou moins, une température de 25 ℃ ± 15 ℃ et une humidité de 55 % RH ± 10 % RH. 1. Eau : L'équipement est équipé d'un refroidisseur d'eau à circulation automatique (remplissage d'eau pure ou d'eau déionisée) 2. Électricité : AC220V 50Hz, doit avoir une bonne mise à la terre 3. gaz : La chambre de l'équipement doit être remplie de gaz argon (pureté 99,99 % ou plus), et des bouteilles de gaz argon (avec joints à double virole Ø6 mm) et un réducteur de pression doivent être fournis par les utilisateurs. 4. Établi : taille 1500 mm × 600 mm × 700 mm, supportant plus de 200 kg 5. Dispositif de ventilation : nécessaire |
Paramètres majeurs (Spécification) | 1. Tension d'alimentation : 220 V 50 Hz. 2. Puissance : ＜2,5 kW 3. Limite du degré de vide : E-6mbar (E-5mbar peut être atteint lorsqu'il est utilisé avec l'équipement de notre société) 4. Température de chauffage : RT-500℃, précision ±1℃ (la température peut être augmentée en fonction des besoins réels.) 5. Nombre de pistolets cibles : 3 pièces 6. Méthode de refroidissement du pistolet cible : refroidissement par eau 7. Taille du matériau cible : Ø2″, épaisseur 0,1-5 mm (différentes épaisseurs dues aux différents matériaux cibles) 8. Puissance de pulvérisation CC : 500 W (en option) 9. Puissance de pulvérisation RF : 300 W/500 W (en option). 10. Étape d'échantillonnage : Ø140 mm, une fonction de tension de polarisation en option peut être installée selon les exigences du client pour obtenir une qualité de revêtement supérieure. 11. Vitesse de l'étape d'échantillonnage : réglable entre 1 rpm et 20 rpm 12. Gaz de travail : Ar, N2et autres gaz inertes 13. Voie d'admission d'air : le débitmètre massique contrôle 2 voies d'admission d'air, l'une est de 100 SCCM et l'autre de 200 SCCM. |
Dimension et poids du produit | dimension principale de la machine : 500 mm × 560 mm × 660 mm Dimension hors tout : 1300mm×660mm×1200mm Poids : 160kg
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accessoires standards | 1. Système de contrôle de puissance CC : 2 jeux 2. Système de contrôle de puissance RF : 1 jeu 3. Système de surveillance de l'épaisseur du film : 1 jeu 4. Pompe moléculaire (importée d'Allemagne) : 1 pièce 5. Refroidisseur d'eau : 1 pièce. 6.Tuyau Polyester PU (Ø6mm) : 4m |
Accessoires optionnels | 1. Divers matériaux cibles tels que l'or, l'indium, l'argent, le platine, etc. 2. Masque 3. Scène d'échantillonnage vibrante |
garantie
Limité à un an avec assistance à vie (sans compter les pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates)
Logistique
