Machine de pulvérisation par pulvérisation plasma avec 3 sources de pulvérisation et boîte à gants
brand Shenyang Kejing
Origine des produits Shenyang, Chine
Le délai de livraison 44 jours ouvrables
La capacité dapprovisionnement 50 ensembles
Le système de préparation de batterie à couche mince VGB-600-3HD peut effectuer des opérations expérimentales dans une boîte à gants et est utilisé pour préparer un film ferroélectrique monocouche ou multicouche, un film conducteur, un film en alliage, un film semi-conducteur, des films céramiques, un film diélectrique, film optique, film d'oxyde, film dur, film PTFE, etc. Le système est équipé de trois pistolets cibles et d'une alimentation RF pour le revêtement par pulvérisation cathodique de divers matériaux cibles. L'alimentation RF peut être connectée à n'importe quelle tête cible par un commutateur de transfert.
Caractéristiques principales
1. Le système est équipé de trois pistolets cibles et d'une alimentation RF pour le revêtement par pulvérisation cathodique de divers matériaux cibles. L'alimentation RF peut être connectée à n'importe quelle tête cible par un commutateur de transfert. (Le pistolet cible peut être échangé selon les besoins du client).
2. Une variété de films minces peuvent être préparés avec une large gamme d'applications.
3. Petite taille et facile à utiliser
4. Conception modulaire de la machine entière ; conception séparée/de type divisé de la chambre à vide, du groupe de pompes à vide et de l'alimentation électrique de contrôle, qui peuvent être ajustées en fonction des besoins réels des utilisateurs. (facultatif)
5. L'alimentation électrique peut être sélectionnée en fonction des besoins réels de l'utilisateur. Une alimentation peut contrôler plusieurs pistolets cibles, ou plusieurs sources d'alimentation peuvent contrôler un seul pistolet cible.
6. L'opération expérimentale peut être effectuée dans la boîte à gants et divers types de cibles facilement oxydables peuvent être remplacés pour des expériences de revêtement.
TParamètres techniques
Nom du produit | Système de préparation de batterie à couche mince VGB-600-3HD |
modèle du produit | VGB-600-3HD |
Paramètres majeurs (Spécification) | Pièce de pulvérisation magnétron à trois têtes : 1. Tension d'alimentation : 220 V 50 Hz. 2. Puissance totale : 2,5 kW 3. Limite du degré de vide : E-6mbar (E-3mbar peut être atteint lorsqu'il est utilisé avec l'équipement de pompe mécanique de notre société) 4. Température de chauffage : RT-500℃, précision ±1℃ (la température peut être augmentée en fonction des besoins réels.) 5. Nombre de pistolets cibles : 3 pièces 6. Méthode de refroidissement du pistolet cible : refroidissement par eau 7. Taille du matériau cible : Ø2″, épaisseur 0,1-5 mm (différentes épaisseurs dues aux différents matériaux cibles) 8. Alimentation de pulvérisation : 300 W (RF)/500 W (DC) 9. Platine d'échantillonnage : Ø140mm 10. Vitesse de l'étape d'échantillonnage : réglable entre 1 rpm et 20 rpm 11. Gaz de travail : Ar, N2et autres gaz inertes 12. Voie d'admission d'air : le débitmètre massique contrôle 2 voies d'admission d'air, l'une est de 100 SCCM et l'autre de 200 SCCM. Partie boîte à gants : 1. Alimentation : AC110V-220V monophasé 50Hz/60Hz 2. Matériau de la coque : acier inoxydable 304. 3. Chambre de la boîte à gants : 1220 mm × 760 mm × 900 mm 4. Chambre avant : Il y a 2 chambres avant, la grande chambre avant mesure Ø360 mm × 600 mm et la petite chambre avant mesure Ø150 mm × 300 mm. 5. Environnement de la chambre : teneur en eau <1 ppm (20℃, 1atm), teneur en oxygène <1 ppm (20℃, 1atm) 6. Gaz de travail : N2, Ar, He et autres gaz inertes 7. Gaz de contrôle : air comprimé ou gaz inerte 8. Gaz réducteur : un mélange de gaz de travail et de H2 (si le système de purification a uniquement pour fonction d'éliminer l'eau, le gaz réducteur est le même que le gaz de travail.) 9. Système de purification des gaz : Matériau désoxydant allemand BASF, matériau absorbant l'eau américain UOP à haute efficacité, contrôle automatique du processus de régénération du système de purification, fonctions d'élimination automatique de l'eau et de l'oxygène, capable de maintenir en permanence la pureté du gaz (au niveau de l'eau <1 ppm et de l'oxygène <1 ppm). ) à long terme 10. Système de contrôle de pression : La pression atmosphérique de la chambre peut être automatiquement contrôlée par l'écran tactile PLC, la précision du contrôle est de ± 1 Pa et elle peut également être contrôlée manuellement par une pédale. 11. Système de filtration : des filtres sont installés aux extrémités d'entrée et de sortie et la précision de filtration est de 0,3 μm. 12. Système de contrôle : écran tactile couleur SIEMENS (6 pouces), système de contrôle PLC, commuté bilingue chinois et anglais * La sonde à eau adopte la marque américaine GE, avec un écran tactile de 0 à 1 000 ppm et une précision de 0,1 ppm. * Le transmetteur d'oxygène adopte la marque américaine AII, avec un écran tactile de 0 à 1 000 ppm et une précision de 0,1 ppm. * Le capteur de pression adopte la marque américaine Setra, avec un écran tactile de -2500-2500 Pa et une précision de ± 1 Pa. 13. Pompe à vide : marque britannique EDWARDS avec vitesse de pompage 8,4 m3/h-12 m3/h 14. Gants : marque américaine NORTH (caoutchouc synthétique butyle) 15. Système d'éclairage : marque Philips (tube fluorescent) |
Dimension du produit | Pièce de pulvérisation magnétron à trois têtes : 950 mm × 460 mm × 810 mm Partie boîte à gants : 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm |
garantie
Limité à un an avec assistance à vie (sans compter les pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates)
Logistique
