Machine de revêtement par pulvérisation plasma magnétron sous vide poussé à tête unique

modèle du produit

VTC-600-1HD

Conditions d'installation

Cet équipement doit être utilisé à une altitude de 1 000 m ou moins, à une température de 25 ℃ ± 15 ℃ et à une humidité de 55 % HR ± 10 % HR.

1. Eau : L'équipement est équipé d'un refroidisseur d'eau à circulation automatique (remplissage avec de l'eau pure ou de l'eau déminéralisée)

2. Électricité : AC220V 50Hz, doit avoir une bonne mise à la terre

3. gaz : la chambre de l'équipement doit être remplie de gaz argon (pureté 99,99 % ou plus), et les bouteilles de gaz argon (avec joints à double virole de Ø6 mm) et la soupape de réduction de pression doivent être fournies par les utilisateurs.

4. Établi : taille 1500mm×600mm×700mm, supportant plus de 200kg

5. Dispositif de ventilation : nécessaire

Paramètres majeurs

(Spécification)

1. Tension d'alimentation : 220V 50Hz

2. Puissance : <1KW (pompe à vide non comprise)

3. Diamètre intérieur de la chambre : Ø300mm

4. Limite du degré de vide : 9.0×10-4Pa

5. Température de chauffage de l'étape de l'échantillon : RT-500℃, précision ±1℃ (la température peut être augmentée en fonction des besoins réels.)

6. Nombre de pistolets cibles : 1 pièces (autres quantités en option)

7. Méthode de refroidissement du pistolet cible : refroidissement par eau

8. Taille du matériau cible : Ø2″, épaisseur 0,1-5 mm (différentes épaisseurs dues aux différents matériaux cibles)

9. Puissance de pulvérisation CC : 500 W ; Puissance de pulvérisation RF : 300 W (le type d'alimentation cible est facultatif : une alimentation CC ou une alimentation RF.)

10. Étape d'échantillonnage : Ø140 mm, une fonction de tension de polarisation en option peut être installée selon les exigences du client pour obtenir une meilleure qualité de revêtement.

11. Vitesse de l'étape d'échantillonnage : réglable entre 1 tr/min et 20 tr/min

12. Gaz de travail : Ar et autres gaz inertes

13. Chemin d'air d'admission : le débitmètre massique contrôle 2 chemins d'admission d'air, l'un est de 100 SCCM et l'autre de 200 SCCM.

Dimensions et poids du produit

1. dimension principale de machine : 500mm×560mm×660mm

2. Dimension hors tout : 1300mm×660mm×1200mm

3. Poids : 160 kg

4. Dimensions de la chambre à vide : φ300×300mm

accessoires standards

1. Système de contrôle d'alimentation CC : 1 jeu (facultatif)

2. Système de contrôle de puissance RF : 1 jeu (facultatif)

3. Refroidisseur d'eau : 1 pièces

4. Tuyau polyester PU (Ø6mm) : 4m

Accessoires optionnels

1. Divers matériaux cibles tels que l'or, l'indium, l'argent, le platine, etc.

2. Système de surveillance de l'épaisseur du film

3. pompe moléculaire (importée d'Allemagne)