Équipement de préparation de films minces sous vide poussé
1. L'instrument de préparation de film mince est développé avec la technologie de Shenyang Kejing, qui est durable et stable.
2. La propre usine de la société produit et teste des instruments de préparation de films minces pour garantir la qualité et le niveau de revêtement.
3. Nous fournissons un service complet, vous pouvez donc l'utiliser en toute confiance et maximiser le rôle de l'instrument de préparation de film mince.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 22 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Introduction de l'instrument de revêtement sous vide pour la recherche :
L'appareil de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron VTC-600GD est un nouvel équipement de revêtement développé indépendamment. Il permet la préparation de films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, de films minces conducteurs, de films minces en alliage, de films minces semi-conducteurs, de films minces en céramique, de films minces diélectriques, de films minces optiques, de films minces en oxyde, de films minces durs, de films minces en polytétrafluoroéthylène, etc. Il peut être équipé de quatre canons cibles, d'une alimentation RF pour le revêtement par pulvérisation cathodique de matériaux cibles non conducteurs et d'une alimentation CC pour le revêtement par pulvérisation cathodique de matériaux conducteurs. Comparé à des équipements similaires, l'appareil de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron est non seulement largement utilisé, mais présente également les avantages d'une taille compacte et d'une utilisation simple. C'est un équipement idéal pour la préparation de films de matériaux en laboratoire, particulièrement adapté à la recherche en laboratoire sur les électrolytes solides et les OLED.
Principales caractéristiques de l'instrument de revêtement sous vide pour la recherche :
1. Jusqu'à quatre pistolets cibles peuvent être sélectionnés, et l'alimentation RF correspondante est utilisée pour le revêtement par pulvérisation de matériaux cibles non conducteurs, et l'alimentation CC correspondante est utilisée pour le revêtement par pulvérisation de matériaux conducteurs (les pistolets cibles peuvent être remplacés à volonté selon les besoins du client).
2. Il peut préparer une variété de films minces et dispose d'une large gamme d'applications.
3. L'instrument de revêtement sous vide pour la recherche est de petite taille et facile à utiliser.
4. L'instrument de préparation de film mince a une conception modulaire de l'ensemble de la machine, et la chambre à vide, le groupe de pompe à vide et l'alimentation de commande sont des conceptions divisées, qui peuvent être ajustées en fonction des besoins réels des utilisateurs.
5. L'instrument de préparation de couches minces peut sélectionner l'alimentation électrique en fonction des besoins réels des utilisateurs. Une alimentation peut contrôler plusieurs pistolets cibles, ou plusieurs alimentations peuvent contrôler un seul pistolet cible.
Paramètres techniques de l'instrument de revêtement sous vide pour la recherche :
Nom du produit | Instrument de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron VTC-600GD |
Modèle de produit | VTC-600GD |
Conditions d'installation | Cet équipement doit être utilisé à une température de 25℃±15℃ et une humidité de 55%Rh±10%Rh. 1. Eau : L'instrument de revêtement sous vide pour la recherche est équipé d'une machine à eau de refroidissement à circulation automatique (remplie d'eau pure ou d'eau déionisée) 2. Électricité : AC220V 50Hz, doit être bien mis à la terre 3. Gaz : La chambre de l'équipement doit être remplie d'argon (pureté supérieure à 99,99 %), et vous devez préparer votre propre bouteille de gaz argon (avec connecteur à double virole Ø6 mm) et un réducteur de pression 4. Établi : dimensions 1500 mm × 600 mm × 700 mm, capacité de charge supérieure à 200 kg 5. Dispositif de ventilation : obligatoire |
Paramètres principaux | 1. Tension d'alimentation : 220 V 50 Hz. |
2. Puissance totale : <3,5 kW. | |
3. Diamètre intérieur de la chambre : Ø300mm. | |
4. Vide ultime 8,0x10-5Pa. | |
5. Température de fonctionnement : RT-500℃, précision ±1℃ (la température peut être augmentée en fonction des besoins réels). | |
6. Nombre de canons cibles : 4. | |
7. Méthode de refroidissement du pistolet cible : refroidissement par eau. | |
8. Taille de la cible : Ø2″, épaisseur 0,1 mm-5 mm (l'épaisseur varie en fonction des différents matériaux de la cible). | |
9. Puissance de pulvérisation CC : 500 W (en option). | |
10. Puissance de pulvérisation RF : 300 W. | |
11. Platine d'échantillon : Ø140mm. | |
12. Vitesse de l'étage d'échantillonnage : réglable entre 1 et 20 tr/min. | |
13. Gaz protecteur : Ar, N2 et autres gaz inertes. | |
14. Chemin d'entrée du gaz : le débitmètre massique contrôle 2 chemins d'entrée, 1 débit est de 100 SCCM, 1 débit est de 200 SCCM. | |
15. Spécifications du produit : · Dimensions : Taille de l'hôte : 800 mm × 1 000 mm × 1 300 mm ; · Poids : 190 kg |
Accessoires standard de l'instrument de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron :
| NON. | Nom | Qté | Image |
| 1 | Système de contrôle de l'alimentation CC | (Facultatif) Définir | - |
| 2 | Système de contrôle de puissance RF | 1 ensemble | - |
| 3 | Système de surveillance de l'épaisseur du film | 1 ensemble | - |
| 4 | pompe moléculaire | 1 unité | - |
| 5 | Refroidisseur | 1 unité | - |
| 6 | Tube en polyester PU (Ø6mm) | 4 m | - |
Accessoires optionnels de l'instrument de préparation de film mince :
| NON. | Nom | Fonction | Image |
| 1 | Diverses cibles telles que l'or, l'indium, l'argent, le platine, etc. | (facultatif) | - |
| 2 | Des cibles magnétiques puissantes en option peuvent être utilisées pour le revêtement par pulvérisation cathodique de matériaux ferromagnétiques. | (facultatif) | - |
Garantie:
Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (hors pièces rouillées en raison de conditions de stockage inadéquates)
Logistique:
À propos de nous:
Nous sommes une entreprise de haute technologie spécialisée dans la recherche, le développement et la production de machines de revêtement. Nous sommes également un leader du secteur. Chacun de nos produits a été soigneusement conçu et rigoureusement testé par nos concepteurs, et offre des performances et une précision élevées. Nous accordons une grande importance au produit lui-même, mais aussi à l'innovation technologique et à la relation client, et nous nous engageons à fournir des instruments expérimentaux de pointe à nos clients du monde entier.
Du conseil au service après-vente, nous offrons un service de premier ordre à chaque client. Notre équipe de professionnels vous recommande le matériel adapté, vous fournit une assistance technique pendant l'utilisation du produit, répond à vos questions et vous accompagne dans la réalisation de votre projet. Forts de nos nombreuses années d'expérience, nous sommes convaincus de pouvoir aider davantage d'entreprises à atteindre leurs objectifs.
Shenyang Kejing garde "pratique, dévoué, travailleur, travail d'équipe, crédible, innovant, responsable, le client d'abord, des produits de haute qualité, des services avancés" comme devise, délicat à fournir des produits et services brillants aux clients nationaux et étrangers.
Afin de maintenir un contact étroit avec nos pairs et nos clients du secteur, nous participons activement aux principaux salons professionnels nationaux et internationaux. Chaque année, nous y présentons nos dernières technologies et produits. Ces plateformes, où nous pouvons rencontrer nos clients en personne, permettent à un plus grand nombre de nous comprendre et de nous soutenir. Au fil des ans, nous avons également obtenu de nombreux clients et contrats de coopération sur ces plateformes. Il s'agit non seulement d'une vitrine de nos réalisations, mais aussi d'un moyen important pour nous de nous rapprocher du secteur.
