Enrobeuse à pulvérisation magnétron à trois cibles pour le revêtement de substrats et de plaquettes
1. Le système de préparation de batterie à couche mince avec boîte à gants est équipé de trois pistolets cibles et une alimentation RF correspondante peut être connectée à n'importe quelle tête cible via un commutateur de conversion, qui est utilisé pour le revêtement par pulvérisation de divers matériaux cibles (le pistolet cible peut être remplacé à tout moment selon les besoins du client).
2. Le système de préparation de batterie à couche mince avec boîte à gants peut préparer une variété de couches minces et est largement utilisé.
3. Le système de préparation de batterie à couche mince avec boîte à gants est de petite taille et très facile à utiliser.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation de l'enrobeuse compacte par pulvérisation plasma :
Le système de préparation de batterie à couche mince VGB-600-3HD avec boîte à gants peut être utilisé pour des opérations expérimentales dans la boîte à gants et est utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films minces conducteurs, des films minces en alliage, des films minces semi-conducteurs, des films minces en céramique, des films minces diélectriques, des films minces optiques, des films minces d'oxyde, des films minces durs, des films minces en polytétrafluoroéthylène, etc. Le dispositif de revêtement par pulvérisation plasma compact est équipé de trois pistolets cibles et une alimentation RF correspondante peut être connectée à n'importe quelle tête cible via un commutateur de conversion, qui est utilisé pour le revêtement par pulvérisation de divers matériaux cibles. Par rapport à des équipements similaires, le dispositif de revêtement par pulvérisation plasma compact est non seulement largement utilisé, mais présente également les avantages d'une petite taille et d'une utilisation facile. C'est un équipement idéal pour la préparation en laboratoire de films de matériaux. Le dispositif de revêtement par pulvérisation plasma compact est particulièrement adapté à la recherche en laboratoire sur les batteries à couche mince, les électrolytes solides et les OLED. Par rapport à la pulvérisation magnétron ordinaire, il peut être utilisé pour des expériences de revêtement sur des cibles Li et des cibles de matériaux à base de lithium. Il s’agit d’un équipement idéal pour les expériences de revêtement en laboratoire dans le secteur des nouvelles énergies.
Avantages du revêtement par pulvérisation magnétron RF à trois cibles :
1. Le pulvérisateur à pulvérisation magnétron RF à trois cibles adopte une conception modulaire, et la chambre à vide, le groupe de pompes à vide et l'alimentation de contrôle sont divisés et peuvent être ajustés en fonction des besoins réels des utilisateurs.
2. Le pulvérisateur à pulvérisation magnétron RF à trois cibles peut sélectionner l'alimentation électrique en fonction des besoins réels des utilisateurs. Une alimentation électrique peut contrôler plusieurs pistolets cibles, ou plusieurs alimentations électriques peuvent contrôler un seul pistolet cible (en option).
3. Le dispositif de revêtement par pulvérisation magnétron RF à trois cibles peut être utilisé pour des opérations expérimentales dans la boîte à gants, et divers types de matériaux cibles facilement oxydables peuvent être remplacés pour les expériences de revêtement.
Paramètres techniques de l'enrobeuse compacte par pulvérisation plasma :
| Nom du produit | Enrobeuse compacte à plasma VGB-600-3HD |
| Modèle de produit | VGB-600-3HD |
| Paramètres principaux | Partie pulvérisation magnétron à trois cibles : 1. Tension d'alimentation : 220 V 50 Hz. 2. Puissance totale : 2,5 kW. 3. Vide ultime : < E-6mbar (peut atteindre E-3mbar lorsqu'il est utilisé avec l'équipement de pompe mécanique de notre société). 4. Température de fonctionnement : RT-500℃, précision ±1℃ (la température peut être augmentée en fonction des besoins réels). 5. Nombre de pistolets cibles : 3. 6. Méthode de refroidissement du canon cible : refroidissement par eau. 7. Taille de la cible : Ø2″, épaisseur 0,1 mm-5 mm (l'épaisseur varie en fonction des différents matériaux cibles). 8. Puissance de pulvérisation : 300 W (RF)/500 W (DC). 9. Porte-échantillon : Ø140mm. 10. Vitesse du porte-échantillon : réglable entre 1 et 20 tr/min. 11. Gaz protecteur : gaz inerte tel que Ar et N2. 12. Trajet de gaz d'admission : le débitmètre massique contrôle 2 trajets d'admission, un débit est de 100 SCCM et l'autre débit est de 200 SCCM. |
Gpartie de la boîte d'amour : 1. Alimentation : monophasé AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Matériau de la coque : acier inoxydable 304. 3. Chambre de boîte à gants : 1220 mm × 760 mm × 900 mm. 4. Chambre de pré-étage : Il y a 2 chambres de pré-étage, la grande chambre de pré-étage est de Ø360 mm × 600 mm et la petite chambre de pré-étage est de Ø150 mm × 300 mm. 5. Environnement de la chambre : teneur en eau < 1 ppm (20 ℃, 1 atm), teneur en oxygène < 1 ppm (20 ℃, 1 atm). 6. Gaz de travail : gaz inerte tel que N2, Ar, He. 7. Gaz de contrôle : air comprimé ou gaz inerte. 8. Gaz réducteur : mélange de gaz de travail et de H2 (si le système de purification n'a pour fonction que d'éliminer l'eau, le gaz réducteur est le même que le gaz de travail). 9. Système de purification de gaz : matériaux désoxydants allemands BASF, matériaux absorbants d'eau américains UOP, contrôle automatique du processus de régénération du système de purification, fonctions de déshydratation et de désoxydation automatiques, qui peuvent maintenir la pureté du gaz à l'eau < 1 ppm et à l'oxygène < 1 ppm pendant une longue période. 10. Système de contrôle de pression : la pression de l'air de la cavité peut être contrôlée automatiquement par l'écran tactile PLC avec une précision de contrôle de ± 1 Pa, et peut également être contrôlée manuellement par la pédale. 11. Système de filtration : Des filtres sont installés aux extrémités d'entrée et de sortie, avec une précision de filtration de 0,3 μm. 12. Système de contrôle : écran tactile couleur SIEMENS (6 pouces), système de contrôle PLC, commutable bilingue chinois et anglais ; La sonde d'eau adopte la marque américaine GE, écran tactile 0-1000 ppm, précision 0,1 ppm ; Le transmetteur d'oxygène adopte la marque américaine AII, écran tactile 0-1000 ppm, précision 0,1 ppm ; Le capteur de pression adopte la marque américaine Setra, écran tactile -2500-2500Pa, précision ±1Pa ; 13. Pompe à vide : marque britannique EDWARDS, vitesse de pompage 8,4 m3/h-12 m3/h. 14. Gants : caoutchouc synthétique butyle de marque américaine NORTH. 15. Système d'éclairage : tube fluorescent de marque Philips. | |
| Spécifications du produit | Pièce de pulvérisation magnétron à trois cibles : 950 mm × 460 mm × 810 mm. Pièce de boîte à gants : 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm. |
Engagement qualité de trois cibles RF magnétron sputtering coater :
Notre société garantit que le dispositif de revêtement par pulvérisation plasma compact fourni est neuf et inutilisé, répond entièrement aux exigences de qualité, de spécifications et de performances stipulées dans le contrat, et que notre système de préparation de batterie à couche mince avec boîte à gants peut fonctionner normalement dans des conditions d'installation, d'utilisation et de maintenance correctes et pendant la durée de vie.
Garantie:
Garantie limitée d'un an, assistance à vie (hors pièces rouillées en raison de conditions de stockage inappropriées)
Nos services:
Nos produits sont reconnus par de nombreux clients pour leurs excellentes performances, leur qualité stable et leur durabilité à long terme. Nous disposons d'une équipe technique professionnelle qui peut fournir aux clients une gamme complète de services d'assistance tels que la sélection des produits, l'installation et la mise en service, ainsi que la formation à l'exploitation. Quels que soient les problèmes que vous rencontrez lors de l'utilisation, nous nous efforcerons de vous fournir des solutions rapides et efficaces pour que votre ligne de production fonctionne de manière efficace et stable.
À propos de nous:
Il n'y a pas longtemps, notre district de Singapour a participé à l'Asia Photonics Expo (APE 2025), où nous avons exposé nos machines de meulage et de polissage, nos machines de revêtement et d'autres produits. Après avoir pris connaissance des produits en détail, de nombreux clients ont fait l'éloge de nos équipements et ont exprimé leur désir de coopérer avec nous.
