Machine de pulvérisation cathodique magnétronique à trois cibles pour le revêtement de substrats et de plaquettes
1. Le système de préparation de batteries à couches minces avec boîte à gants est équipé de trois canons cibles, et une alimentation RF correspondante peut être connectée à n'importe quelle tête cible via un commutateur de conversion, qui est utilisée pour le revêtement par pulvérisation de divers matériaux cibles (le canon cible peut être remplacé à tout moment selon les besoins du client).
2. Le système de préparation de batteries à couches minces avec boîte à gants permet de préparer une variété de couches minces et est largement utilisé.
3. Le système de préparation de batteries à couches minces avec boîte à gants est de petite taille et très facile à utiliser.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Chine
- 10 jours ouvrables
- 50 ensembles
- information
Présentation d'un système de revêtement par pulvérisation plasma compact :
Le système de préparation de couches minces VGB-600-3HD, équipé d'une boîte à gants, permet des manipulations expérimentales en milieu ambiant. Il est utilisé pour la préparation de couches minces monocouches ou multicouches : ferroélectriques, conductrices, en alliage, semi-conductrices, céramiques, diélectriques, optiques, d'oxydes, dures, en polytétrafluoroéthylène, etc. Le système de pulvérisation cathodique plasma compact est équipé de trois canons à cibles et d'une alimentation RF adaptée, connectable à chaque tête de cible via un commutateur. Il permet ainsi le dépôt par pulvérisation de divers matériaux cibles. Comparé aux équipements similaires, ce système se distingue par sa grande polyvalence, sa taille réduite et sa simplicité d'utilisation. C'est l'outil idéal pour la préparation de couches minces en laboratoire. Il est particulièrement adapté à la recherche sur les batteries à couches minces, les électrolytes solides et les OLED. Contrairement à la pulvérisation magnétron classique, il permet le dépôt sur des cibles de lithium et de matériaux à base de lithium. Il s'agit d'un équipement idéal pour les expériences de revêtement en laboratoire dans le secteur des nouvelles énergies.
Avantages du système de pulvérisation cathodique magnétronique RF à trois cibles :
1. Doté de trois cibles de pulvérisation, une alimentation RF peut être commutée vers n'importe quelle tête de cible via un commutateur de transfert, permettant le dépôt par pulvérisation de divers matériaux cibles (les canons cibles peuvent être interchangés selon les besoins de l'utilisateur).
2. Capable de préparer plusieurs types de films minces, avec une large gamme d'applications.
3. Format compact et utilisation facile.
4. L'ensemble du système adopte une conception modulaire : la chambre à vide, l'unité de pompage à vide et l'alimentation électrique de contrôle sont séparées indépendamment, permettant une configuration flexible en fonction des exigences de l'utilisateur.
5. Les utilisateurs peuvent choisir la configuration de l'alimentation électrique en fonction de leurs besoins réels : soit une seule alimentation électrique contrôlant plusieurs cibles, soit plusieurs alimentations électriques contrôlant chaque cible indépendamment (optionnel).
6. Le système peut être utilisé à l'intérieur d'une boîte à gants pour le dépôt en utilisant divers matériaux cibles sensibles à l'oxydation.
Paramètres techniques du pulvérisateur plasma compact :
| Nom du produit | VGB-600-3HD Appareil de pulvérisation plasma compact |
| Modèle de produit | VGB-600-3HD |
| Paramètres principaux | Partie pulvérisation cathodique magnétronique à trois cibles : 1. Tension d'alimentation : 220 V 50 Hz. 2. Puissance totale : 2,5 kW. 3. Vide ultime : < E-6 mbar (peut atteindre E-3 mbar lorsqu'il est utilisé avec l'équipement de pompe mécanique de notre société). 4. Température de fonctionnement : RT-500℃, précision ±1℃ (la température peut être augmentée en fonction des besoins réels). 5. Nombre de canons cibles : 3. 6. Méthode de refroidissement du canon cible : refroidissement à l'eau. 7. Taille de la cible : Ø2″, épaisseur 0,1 mm à 5 mm (l’épaisseur varie en fonction des différents matériaux de la cible). 8. Puissance de pulvérisation : 300 W (RF) / 500 W (DC). 9. Support d'échantillon : Ø140 mm. 10. Vitesse du porte-échantillon : réglable de 1 à 20 tr/min. 11. Gaz protecteur : gaz inerte tel que l’argon et l’azote.2. 12. Chemin d'entrée de gaz : Le débitmètre massique contrôle 2 chemins d'entrée, un débit de 100 SCCM et l'autre débit de 200 SCCM. |
Gpartie boîte d'amour : 1. Alimentation électrique : monophasé AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Matériau de la coque : acier inoxydable 304. 3. Chambre de la boîte à gants : 1220 mm × 760 mm × 900 mm. 4. Chambre de pré-étage : Il y a 2 chambres de pré-étage, la grande chambre de pré-étage mesure Ø360 mm × 600 mm et la petite chambre de pré-étage mesure Ø150 mm × 300 mm. 5. Environnement de la chambre : teneur en eau <1 ppm (20℃, 1 atm), teneur en oxygène <1 ppm (20℃, 1 atm). 6. Gaz de travail : gaz inerte tel que N₂2, Ar, He. 7. Gaz de contrôle : air comprimé ou gaz inerte. 8. Gaz réducteur : un mélange de gaz de travail et de H₂2(si le système de purification a pour seule fonction d'éliminer l'eau, le gaz réducteur est le même que le gaz de travail). 9. Système de purification des gaz : matériaux désoxydants BASF allemands, matériaux absorbant l'eau UOP américains, contrôle automatique du processus de régénération du système de purification, fonctions de déshydratation et de désoxydation automatiques, qui peuvent maintenir la pureté du gaz à une teneur en eau < 1 ppm et en oxygène < 1 ppm pendant une longue période. 10. Système de contrôle de la pression : La pression d'air de la cavité peut être contrôlée automatiquement par l'écran tactile PLC avec une précision de contrôle de ±1Pa, et peut également être contrôlée manuellement par la pédale. 11. Système de filtration : Des filtres sont installés aux extrémités d'entrée et de sortie, avec une précision de filtration de 0,3 μm. 12. Système de contrôle : écran tactile couleur SIEMENS (6 pouces), système de contrôle PLC, bilingue chinois et anglais commutable ; La sonde à eau adopte la marque américaine GE, écran tactile 0-1000 ppm, précision 0,1 ppm ; Le transmetteur d'oxygène adopte la marque américaine AII, un écran tactile de 0 à 1000 ppm, une précision de 0,1 ppm ; Capteur de pression de marque américaine Setra, écran tactile -2500-2500Pa, précision ±1Pa ; 13. Pompe à vide : marque britannique EDWARDS, débit de pompage 8,4 m3/h-12m3/h. 14. Gants : caoutchouc synthétique butyle de marque américaine NORTH. 15. Système d'éclairage : tube fluorescent de marque Philips. | |
| Spécifications du produit | · Partie de pulvérisation magnétronique à trois cibles : 950 mm × 460 mm × 810 mm. · Pièce de boîte à gants : 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm. |
Engagement qualité de trois cibles pour le revêtement par pulvérisation cathodique magnétronique RF :
Notre société garantit que le système de pulvérisation plasma compact fourni est neuf et inutilisé, qu'il répond pleinement aux exigences de qualité, de spécifications et de performance stipulées dans le contrat, et que notre système de préparation de batteries à couches minces avec boîte à gants peut fonctionner normalement dans des conditions d'installation, d'utilisation et d'entretien correctes et pendant sa durée de vie.
Garantie:
Garantie limitée d'un an, assistance à vie (à l'exception des pièces rouillées en raison de conditions de stockage inappropriées)
Nos services :
Nos produits sont reconnus par de nombreux clients pour leurs excellentes performances, leur qualité constante et leur grande durabilité. Notre équipe technique professionnelle vous accompagne tout au long de votre projet, de la sélection des produits à leur installation et mise en service, en passant par la formation à leur utilisation. Quels que soient les problèmes rencontrés, nous mettons tout en œuvre pour vous apporter des solutions rapides et efficaces afin d'assurer le bon fonctionnement et la stabilité de votre ligne de production.
À propos de nous:
Il y a peu, notre district de Singapour a participé à l'Asia Photonics Expo (APE 2025), où nous avons présenté nos machines de meulage et de polissage, nos machines de revêtement et d'autres produits. Après avoir découvert nos produits en détail, de nombreux clients ont fait l'éloge de nos équipements et ont exprimé leur souhait de collaborer avec nous.
